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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

常见MEMS流体陀螺的原理、优缺点和应用前景

流体类陀螺仪与传统陀螺仪相比，由于没有悬挂质量块，结构大大简化，制作难度降低，更重要的是，省去了复杂的活动部件，其抗冲击、抗振动能力大大提高，特别适合在...

2019-09-10 标签：温度传感器 mems 自动驾驶 7.7k 0

激光隐切—更适合MEMS晶圆的切割方式

据麦姆斯咨询介绍，砂轮划片、激光全切等传统切割方式存在振动冲击大、切割屑污染、热应力作用大等问题，常常导致具有悬膜、悬臂梁、微针、微弹簧等敏感结构类型的芯片损坏

2023-08-18 标签：mems 激光器晶圆 7.7k 0

关于麦克风波束成形的基本原理

所有MEMS麦克风都具有全向拾音响应，也就是能够均等地响应来自四面八方的声音。多个麦克风可以配置成阵列，形成定向响应或波束场型。经过设计，波束成形麦克风...

2018-04-23 标签：adi mems snr 7.7k 0

SPI至RS-485/RS-422设计解决方案的详细物理层设计注意事项

为MEMS实现有线物理层接口的常见挑战包括管理EMC鲁棒性和数据完整性。然而，当在长RS-485/RS-422电缆上扩展时钟同步接口（如SPI）时，以及...

2022-12-21 标签：mems emc 加速度计 7.7k 0

牺牲层技术大致包含哪几个步骤

牺牲层技术自20世纪80 年代美国加州大学伯克利分校开发至今，得到了快速发展。牺牲层技术是 MEMS 工艺设计中有别于传统IC制造工艺技术之一

2022-10-25 标签：多晶硅 mems 压力传感器 7.7k 0

一文带你深入了解机械耐用、功耗低的MEMS开关

解决大问题需要开创性的技术。机电继电器早在电报问世之初就已存在，但没有其他替代的开关技术可满足所有市场需求——特别是对于测试和测量、通信、防务、医疗保健...

2017-09-01 标签：mems 机电继电器 7.6k 0

X射线光刻（X-ray lithography）技术是什么意思

X射线光刻（X-ray lithography）技术是电子工业中用于选择性去除一部分薄膜的工艺。使用X射线将几何图形转移光敏光刻胶上。然后进行一系列化学...

2022-12-28 标签：光电子 mems 加速器 7.6k 0

MEMS压力传感器的蚀刻工艺和封装工艺

MEMS，微机电系统，是1959年12月由理查德·费曼最早提出的概念，是将微观模拟机械元件机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路。

2020-07-21 标签：mems PCB设计压力传感器 7.6k 0

MEMS技术及其应用详解

MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与制造面临哪些困难？本...

2016-11-01 标签：mems MEMS加速度计 7.6k 0

自动驾驶车内惯性导航传感器全面解读

自从汽车制造商开始使用第一台微机电传感器(MEMS)加速计来测量加速的强劲力道以及启动安全气囊已经二十多年了。第一台惯性传感器早已为今日的先进驾驶辅助系...

2018-09-09 标签：传感器 mems adas 7.6k 0

MEMS麦克风设计注意事项和应用指南

MEMS麦克风以其极致的小巧、卓越的性能、强大的稳定性和极具竞争力的成本，席卷了从消费电子到工业物联网的各个角落。无论是打造清晰通话的TWS耳机，赋予智...

2025-08-29 标签：mems 麦克风耳机 7.5k 0

Blickfeld基于MEMS微镜的固态LiDAR

据麦姆斯咨询报道，位于德国慕尼黑的LiDAR（激光雷达）创业公司Blickfeld近日宣布将其种子轮融资提高到了1000万美元，包括OSRAM（欧司朗）...

2018-09-06 标签：传感器 MEMS LiDAR 7.4k 0

Micralyne即将推出下一代小型化低功耗气体传感器的MEMS技术平台

据麦姆斯咨询报道，MEMS代工厂Micralyne展示了用于开发下一代气体传感器的MEMS技术平台——标准的硅工艺技术和工艺模块。

2017-10-16 标签：mems 气体传感器 7.4k 0

一张图让你看懂MEMS加速度传感器在车身稳定系统中有何作用

随着移动互联网和物联网的快速发展，MEMS微机电系统产业迎来了重大发展机遇。在致力于防患未然的汽车主动安全领域，ESC（车身稳定系统）、ABS（防抱死系...

2016-11-16 标签：传感器 mems 加速传感器 7.4k 0

一文读懂CMP抛光垫

在现代工业中，表面加工是至关重要的一环。为了达到所需的表面粗糙度、光洁度和平整度等要求，往往需要进行抛光处理。

2023-06-08 标签：半导体 mems 晶体管 7.4k 0

MEMS超声波换能器为何是现在进入大众市场？

解释上述时间因素主要有四点。首先，市场应用正在推动MEMS超声波换能器发展。由于更便宜且更小的探头诞生，医疗超声波成像将实现平民化，全科医生甚至家庭都可...

2018-10-09 标签：mems 超声波换能器 7.3k 0

MEMS的概念和特点_MEMS的发展历程和全球格局

2020年6月2日，上海证券交易所科创板股票上市委员会审议通过苏州敏芯微电子技术股份有限公司发行上市申请。

2020-08-31 标签：MEMS MEMS技术 7.3k 0

什么是离子注入？离子注入的应用介绍

离子注入是将高能离子注入半导体衬底的晶格中来改变衬底材料的电学性能的掺杂工艺。通过注入能量、角度和剂量即可控制掺杂浓度和深度，相较于传统的扩散工艺更为精确。

2024-02-21 标签：多晶硅 mems 离子注入 7.3k 0

基于MEMS工艺实现简易快速地制备不同的微阵列结构

当前以MEMS为基础的细胞微阵列芯片受到科研人员广泛重视。通过微加工技术在基底上构建微尺度的图形结构，并通过物理化学修饰对表面进行改性，使得细胞在特定区...

2018-01-25 标签：mems 微阵列 7.3k 0

深入了解工业应用的高性能RF MEMS开关

当栅极和源极之间的偏置电压超过开关阈值电压时，梁上的触点便接触漏极，源极和漏极之间的电路闭合，开关接通。移除偏置电压后，即栅极上为0V时，悬臂梁像弹簧一...

2019-04-15 标签：滤波器 mems 晶体管 7.3k 0

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IoT是Internet of Things的缩写，字面翻译是“物体组成的因特网”，准确的翻译应该为“物联网”。物联网（Internet of Things）又称传感网，简要讲就是互联网从人向物的延伸。
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数字隔离技术常用于工业网络环境的现场总线、军用电子系统和航空航天电子设备中，尤其是一些应用环境比较恶劣的场合。数字隔离电路主要用于数字信号和开关量信号的传输。另一个重要原因是保护器件（或人）免受高电压的危害。本文详细介绍了数字隔离器工作原理及特点，选型及应用，各类数字隔离器件性能比较等内容。
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