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半导体“化学气相沉积（CVD）碳化硅（Sic）”工艺技术详解；

【博主简介】本人“ 爱在七夕时 ”，系一名半导体行业质量管理从业者，旨在业余时间不定期的分享半导体行业中的：产品质量、失效分析、可靠性分析和产品基础应用...

2025-11-09 标签：SiC 碳化硅 CVD 2.9k 0

铜材料的CVD工艺是怎么实现的

介绍了铜材料的CVD工艺是怎么实现的以及什么情况下会用到铜CVD工艺。

2024-01-07 标签：晶圆工艺 CVD 2.9k 0

石墨烯的制备方法有哪些石墨烯膜提升智能手机散热性能的方法

石墨烯内部碳原子的排列方式与石墨单原子层一样以sp2杂化轨道成键，并有如下的特点：碳原子有4个价电子，其中3个电子生成sp2键，即每个碳原子都贡献一个位...

2023-08-18 标签：传感器智能手机石墨 2.6k 0

进行MEMS制造的沉积方法

进行MEMS制造的最基本需求是能够沉积1到100微米之间的材料薄膜。NEMS的制造过程是基本一致的，膜沉积的测量范围从几纳米到一微米。

2022-10-11 标签：mems NEMS PVD 2.6k 0

国产CVD设备在4H-SiC衬底上的同质外延实验

SiC薄膜生长方法有多种，其中化学气相沉积（chemical vapor deposition, CVD）法具有可以精确控制外延膜厚度和掺杂浓度、缺陷较...

2023-06-19 标签：新能源汽车晶圆 SiC 2.5k 0

主侧墙和N+/P+源漏的形成

首先，沉积四乙基原硅酸盐氧化物（即使用正硅酸乙酯TEOS前驱的CVD氧化物，简称TEOS-ox）和氮化硅的复合层，并对TEOS-ox和氮化硅进行等离子体...

2023-01-12 标签：MOS管 CVD 2k 0

石墨烯基导热薄膜的研究进展情况分析

CVD因具有可控、高质量生长石墨烯的优点而引起国内外关注，据报道石墨烯薄膜可在多个衬底上生长，如Fe、Cu和Ni、 Pt等。研究表明，采用CVD工艺生长...

2023-09-01 标签：芯片晶体管石墨烯 1.8k 0

CVD金刚石在机械密封领域中的应用

随着科技的不断发展，金刚石在许多领域中都展现出了巨大的应用潜力。其中，化学气相沉积（CVD）金刚石由于其独特的物理和化学性质，尤其在机械密封领域中有着广...

2024-01-04 标签：金刚石机械密封 CVD 1.8k 0

半导体制造之离子工艺

其中，AB是分子，而A和B是由分解碰撞产生的自由基，自由基至少带有一个不成对的电子, 因此并不稳定。自由基在化学上非常活跃，能夺取其他原子或分子的电子形...

2022-11-28 标签：等离子体工艺 CVD 1.7k 0

介绍一种可行的方法和潜在的机制来辅助自组装的转角石墨烯

近年来，能够生产无缺陷单层石墨烯和其他2D材料的生长技术得到了长足的发展。

2023-09-04 标签：电容器电阻器电感器 1.6k 0

CVD与PVD的工艺特征及其建模方法

中国科学院大学集成电路学院是国家首批支持建设的示范性微电子学院。为了提高学生对先进光刻技术的理解，本学期集成电路学院开设了《集成电路先进光刻技术与版图设...

2023-05-16 标签：集成电路 CVD 光刻工艺 1.5k 0

梯度包覆策略助力高性能全固态锂电池

开发高稳定性储能系统是解决未来能源问题的重要方法。传统锂离子电池由于其使用易燃有机液体电解质，安全问题严峻，而使用固态电解质（SSEs）代替液态有机电解...

2023-01-30 标签：锂离子电池开路电压 SCL 1.5k 0

加热工艺发展趋势

RTCVD过程可以用来沉积多晶硅、氮化硅和二氧化硅，例如在浅沟槽隔离工艺中使用CVD氧化硅填充沟槽。

2022-11-08 标签：CVD USG 1.5k 0

即插即用的视频深度预测框架是什么

在实验方面，我们在VDW数据集，以及公开的Sintel和NYUDV2数据集上，均取得了SOTA的空间精度和时域一致性。其中VDW和Sintel为自然场景...

2023-08-09 标签：网络视频数据传输 CVD 1.3k 0

CVD成为工业制造应用更优选

金刚石具有低密度、高弹性模量、高强度、高热导率、化学惰性和生物相容性等优异特性，在声学领域主要应用于高保真喇叭、声表面波器件、声传感器等。

2024-01-08 标签：金刚石 CVD 工业制造 1.2k 0

Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪 CVD 清洗终点优化

上海伯东日本 Atonarp Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪, 基于四级杆的质量分离, Aston 质谱分析仪设计紧凑, 适用于气体分析和...

2024-10-18 标签：半导体分析仪 CVD 768 0

PIC16F18026/46：功能丰富的14/20引脚微控制器深度解析

Microchip Technology PIC16F18026/46 14/20引脚微控制器具有数字和模拟外设，用于成本敏感的传感器和实时控制应用。...

2025-10-13 标签：微控制器数模转换器 CVD 418 0

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