电子发烧友App

硬声App

0
  • 聊天消息
  • 系统消息
  • 评论与回复
登录后你可以
  • 下载海量资料
  • 学习在线课程
  • 观看技术视频
  • 写文章/发帖/加入社区
创作中心

完善资料让更多小伙伴认识你,还能领取20积分哦,立即完善>

3天内不再提示

电子发烧友网>制造/封装>半导体制造之离子工艺

半导体制造之离子工艺

收藏

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉

评论

查看更多

相关推荐

半导体制造的合金化热处理工艺

合金化热处理是一种利用热能使不同原子彼此结合成化学键而形成金属合金的一种加热工艺半导体制造过程中已经使用了很多合金工艺,自对准金属硅化物工艺过程中一般形成钛金属硅化合物(见下图)。
2022-09-21 10:13:343589

半导体制造工艺之BiCMOS技术

目前为止,在日常生活中使用的每一个电气和电子设备中,都是由利用半导体器件制造工艺制造的集成电路组成。电子电路是在由纯半导体材料(例如硅和其他半导体化合物)组成的晶片上创建的,其中包括光刻和化学工艺的多个步骤。
2022-09-22 16:04:441861

半导体制造之等离子工艺

离子工艺广泛应用于半导体制造中。比如,IC制造中的所有图形化刻蚀均为等离子体刻蚀或干法刻蚀,等离子体增强式化学气相沉积(PECVD)和高密度等离子体化学气相沉积 (HDP CVD)广泛用于电介质
2022-11-15 09:57:312626

半导体制造:跟随还是超越摩尔定律

在这个半导体制工艺即将面临更新换代之际,我们不妨从设计、制造和代工不同角度审视一下,迎接全新工艺半导体企业的应对策略。
2011-09-30 09:16:231715

2020年半导体制造工艺技术前瞻

表现依旧存在较大的改进空间。从2019年底到2020年初,业内也召开了多次与半导体制造业相关的行业会议,对2020年和以后的半导体工艺进展速度和方向进行了一些预判。今天本文就综合各大会议的消息和厂商披露
2020-07-07 11:38:14

半导体工艺技术的发展趋势是什么?

)、氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)、双极硅、绝缘硅(SoI)和蓝宝石硅(SoS)等工艺技术给业界提供了丰富的选择。虽然半导体器件的集成度越来越高,但分立器件同样在用这些工艺制造。随着全球电信网络向长期
2019-08-20 08:01:20

半导体制冷—— 2 1 世纪的绿色“冷源”

半导体制冷—— 2 1 世纪的绿色“冷源”唐春晖(上海理工大学光学与电子信息工程学院,上海 200093)摘要:基于节能和环保已是当今一切科技发展进步的基本要求,对半导体制冷技术原理以及应用情况做了
2010-04-02 10:14:56

半导体制冷效率问题!!

大家有没有用过半导体制冷的,我现在选了一种制冷片,72W的,我要对一个2.5W的热负载空间(100x100x100mm)降温,用了两片,在环温60度时热负载所处的空间只降到30度,我采用的时泡沫胶
2012-08-15 20:07:10

半导体制冷有什么优缺点?

半导体制冷的机理主要是电荷载体在不同的材料中处于不同的能量级,在外电场的作用下,电荷载体从高能级的材料向低能级的材料运动时,便会释放出多余的能量。
2020-04-03 09:02:14

半导体制冷片的工作原理是什么?

半导体制冷片是利用半导体材料的Peltier效应而制作的电子元件,当直流电通过两种不同半导体材料串联成的电偶时,在电偶的两端即可分别吸收热量和放出热量,可以实现制冷的目的。它是一种产生负热阻的制冷技术,其特点是无运动部件,可靠性也比较高。半导体制冷片的工作原理是什么?半导体制冷片有哪些优缺点?
2021-02-24 09:24:02

半导体制

的积体电路所组成,我们的晶圆要通过氧化层成长、微影技术、蚀刻、清洗、杂质扩散、离子植入及薄膜沉积等技术,所须制程多达二百至三百个步骤。半导体制程的繁杂性是为了确保每一个元器件的电性参数和性能,那么他的原理又是
2018-11-08 11:10:34

半导体制程简介

渗透、与UV紫外线杀菌等重重关卡,才能放行使用。由于去离子水是最佳的溶剂与清洁剂,其在半导体工业使用量极为惊人! 8、洁净室所有用得到的气源,包括吹干晶圆及机台空压所需要的,都得使用氮气 (98
2011-08-28 11:55:49

半导体制造

制造半导体器件时,为什么先将导电性能介于导体和绝缘体之间的硅或锗制成本征半导体,使导电性极差,然后再用扩散工艺在本征半导体中掺入杂质形成N型半导体或P型半导体改善其导电性?
2012-07-11 20:23:15

半导体制造企业未来分析

们的投入中,80%的开支会用于先进产能扩增,包括7nm、5nm及3nm,另外20%主要用于先进封装及特殊制程。而先进工艺中所用到的EUV极紫外光刻机,一台设备的单价就可以达到1.2亿美元,可见半导体
2020-02-27 10:42:16

半导体制造技术经典教程(英文版)

半导体制造技术经典教程(英文版)
2014-03-06 16:19:35

半导体制造的难点汇总

是各种半导体晶体管技术发展丰收的时期。第一个晶体管用锗半导体材料。第一个制造硅晶体管的是德州仪器公司。20世纪60年代——改进工艺此阶段,半导体制造商重点在工艺技术的改进,致力于提高集成电路性能
2020-09-02 18:02:47

半导体制造车间的环境与生产要求以及设施规划

近几年来,由于半导体芯片在电脑,通信等领域的广泛应用,半导体制造业不仅在全球,在中国也得到了飞速发展。9月5日工信部部长指出要通过编制十四五规划,将培育软件产业生态、推动产业聚集,加快建设数字
2020-09-24 15:17:16

SPC在半导体半导体晶圆厂的实际应用

梁德丰,钱省三,梁静(上海理工大学工业工程研究所/微电子发展中心,上海 200093)摘要:由于半导体制造工艺过程的复杂性,一般很难建立其制造模型,不能对工艺过程状态有效地监控,所以迫切需要先进
2018-08-29 10:28:14

半导体制造工艺》学习笔记

`《半导体制造工艺》学习笔记`
2012-08-20 19:40:32

《炬丰科技-半导体工艺》DI-O3水在晶圆表面制备中的应用

的试剂,无论是单独工作还是与其他化学品混合,对于半导体制造中的湿法清洗工艺。通过适当的应用,它可以避免使用一些需要在高温下操作的高腐蚀性化学品,从而减少 CoO,包括化学品费用、冲洗水量、安全问题
2021-07-06 09:36:27

《炬丰科技-半导体工艺》IC制造工艺

`书籍:《炬丰科技-半导体工艺》文章:IC制造工艺编号:JFSJ-21-046作者:炬丰科技网址:http://www.wetsemi.com/index.html摘要:集成电路的制造主要包括以下工艺
2021-07-08 13:13:06

《炬丰科技-半导体工艺》超大规模集成电路制造技术简介

`书籍:《炬丰科技-半导体工艺》文章:超大规模集成电路制造技术简介编号:JFSJ-21-076作者:炬丰科技概括VLSI制造中使用的材料材料根据其导电特性可分为三大类:绝缘体导体半导体
2021-07-09 10:26:01

主流的射频半导体制造工艺介绍

1、GaAs半导体材料可以分为元素半导体和化合物半导体两大类,元素半导体指硅、锗单一元素形成的半导体,化合物指砷化镓、磷化铟等化合物形成的半导体。砷化镓的电子迁移速率比硅高5.7 倍,非常适合
2019-07-29 07:16:49

从7nm到5nm,半导体制程 精选资料分享

从7nm到5nm,半导体制程芯片的制造工艺常常用XXnm来表示,比如Intel最新的六代酷睿系列CPU就采用Intel自家的14nm++制造工艺。所谓的XXnm指的是集成电路的MOSFET晶体管栅极
2021-07-29 07:19:33

单片机控制半导体制

我想用单片机开发板做个热疗仪,开发板是某宝上买的那种,有两个猜想:一个用半导体制冷片发热,一个用电热片。但我不会中间要不要接个DA转换器还是继电器什么的,查过一些资料,如果用半导体制冷片用PWM控制
2017-11-22 14:15:40

单片机控制半导体制冷片

求大神解答,半导体制冷片的正负极能反接吗,如果可以,那原来的制冷面是不是可变成散热面而原来的散热面变成制冷面??
2016-03-03 16:53:12

单片机晶圆制造工艺及设备详解

今日分享晶圆制造过程中的工艺及运用到的半导体设备。晶圆制造过程中有几大重要的步骤:氧化、沉积、光刻、刻蚀、离子注入/扩散等。这几个主要步骤都需要若干种半导体设备,满足不同的需要。设备中应用较为广泛
2018-10-15 15:11:22

基于半导体制冷片的高精度温度控制系统,总结的太棒了

基于半导体制冷片的高精度温度控制系统,总结的太棒了
2021-05-08 06:20:22

如何实现基于STM32的半导体制冷片(TEC)温度控制系统设计?

如何实现基于STM32的半导体制冷片(TEC)温度控制系统设计?
2021-12-23 06:07:59

如何用半导体制冷片制作小冰箱?

想用半导体制冷片制作小冰箱,需要用到大功率电源,半导体制冷片,还有散热系统,单片机控制系统,能调温度,还能显示温度,具体的思路已经有了,想问问你们有没好点的意见,能尽量提高点效率还有温度调节的精度
2020-08-27 08:07:58

想了解半导体制造相关知识

{:1:}想了解半导体制造相关知识
2012-02-12 11:15:05

有关半导体工艺的问题

问个菜的问题:半导体(或集成电路)工艺   来个人讲讲 半导体工艺 集成电路工艺工艺 CMOS工艺的概念和区别以及联系吧。查了一下:集成电路工艺(integrated
2009-09-16 11:51:34

自制半导体制冷小冰箱

到了二十世纪五十年代随着半导体材料的迅猛发展,热电制冷器才逐渐从实验室走向工程实践,在国防、工业、农业、医疗和日常生活等领域获得应用,大到可以做核潜艇的空调,小到可以用来冷却红外线探测器的探头,因此通常又把热电制冷器称为半导体制冷器。
2013-11-29 09:26:38

芯片制造-半导体工艺制程实用教程

芯片制造-半导体工艺制程实用教程学习笔记[/hide]
2009-11-18 11:44:51

#半导体制造工艺 概述

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 13:57:11

#半导体制造工艺 洁净室基础知识:介绍污染问题

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:13:53

#半导体制造工艺 CVD薄膜生长模型

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:21:40

#半导体制造工艺 热蒸发:引入和蒸汽生成

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:28:58

#半导体制造工艺 热蒸发:薄膜形成和示例

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:29:55

#半导体制造工艺 CMi中的热蒸发

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:31:09

#半导体制造工艺 溅射:引入和等离子体形成

离子离子制造工艺半导体制造离子体技术集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:32:52

#半导体制造工艺 溅射:空间区域和帕森定律

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:33:55

#半导体制造工艺 溅射:直流射频磁控管

射频制造工艺磁控管半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:35:14

#半导体制造工艺 射:离子靶相互作用

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:36:43

#半导体制造工艺 溅射:薄膜生长和控制参数

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:39:13

#半导体制造工艺 溅射:示例

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:41:00

#半导体制造工艺 CMi中的溅射

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:42:05

#半导体制造工艺 补充其他PVD方法

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:45:34

#半导体制造工艺 补充其他PVD方法 (续)

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:46:45

#半导体制造工艺 薄膜生长:原子到达和粘附

制造工艺原子半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:48:41

#半导体制造工艺 薄膜生长:薄膜中的应力

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:49:53

#半导体制造工艺 补充薄膜生长:生长模式和晶体结构

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:51:50

#半导体制造工艺 光刻技术简介

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:53:40

#半导体制造工艺 抗蚀性能和暴露方法

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:55:00

#半导体制造工艺 CMi中的UV光刻:掩模制造

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:58:41

#半导体制造工艺 UV光刻:基于掩模的光刻

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 14:59:33

#半导体制造工艺 CMi中的UV光刻:基于掩模的光刻

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:00:27

#半导体制造工艺 补充电子束光刻:工具概述II

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:06:03

#半导体制造工艺 电子束光刻:电子样品相互作用

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:10:28

#半导体制造工艺离子体产生的理论概念

离子离子制造工艺半导体制造离子体技术集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:30:33

#半导体制造工艺 离子束蚀刻

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:33:14

#半导体制造工艺 有机薄膜和金属的蚀刻工艺示例

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:36:27

#半导体制造工艺 硅的各向异性和各向同性湿法刻蚀及其应用

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:38:04

#半导体制造工艺 HNA浴中硅的各向同性湿法腐蚀

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:42:03

#半导体制造工艺 HNA浴中硅的各向同性湿法腐蚀 (续)

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:42:59

#半导体制造工艺 薄膜微细加工和块状测微仪的蚀刻停止技术

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:47:24

#半导体制造工艺 超临界干燥实现悬挂结构试验微型化

制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:48:23

#半导体制造工艺 光学薄膜厚度测量

光学制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:50:20

#半导体制造工艺 光学表面轮廓测量

光学制造工艺半导体制造集成电路工艺
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:51:03

#半导体制造工艺 机械表面轮廓测量

IC设计制造工艺半导体制造
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:52:01

#半导体制造工艺 聚焦离子束:局部截面检查和测量

IC设计制造工艺半导体制造
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:55:00

#半导体制造工艺 电气特性

IC设计制造工艺半导体制造
电子技术那些事儿发布于 2022-10-15 15:55:45

华虹半导体和宏力半导体制造公司完成合并

中国半导体制造行业的两大企业,华虹半导体有限公司(简称“华虹”)和宏力半导体制造公司(简称“宏力”)于29日联合宣布双方已完成了合并交易。
2011-12-30 08:58:501867

半导体制作工艺CH

半导体制作工艺CH
2017-10-18 10:19:4747

半导体制作工艺CH08

半导体制作工艺CH08
2017-10-18 10:32:4425

半导体制作工艺CH05

半导体制作工艺CH05
2017-10-18 10:37:5925

半导体制造工艺中的主要设备及材料大盘点

本文首先介绍了半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料,其次阐述了IC晶圆生产线的7个主要生产区域及所需设备和材料,最后详细的介绍了半导体制造工艺,具体的跟随小编一起来了解一下。
2018-05-23 17:32:3169224

半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料

本文首先介绍了半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料,其次阐述了IC晶圆生产线的7个主要生产区域及所需设备和材料,最后详细的介绍了半导体制造工艺,具体的跟随小编一起来了解一下。 一、半导体制造
2018-09-04 14:03:026592

半导体制造工艺教程的详细资料免费下载

本文档的主要内容详细介绍的是半导体制造工艺教程的详细资料免费下载主要内容包括了:1.1 引言 1.2基本半导体元器件结构 1.3半导体器件工艺的发展历史 1.4集成电路制造阶段 1.5半导体制造企业 1.6基本的半导体材料 1.7 半导体制造中使用的化学品 1.8芯片制造的生产环境
2018-11-19 08:00:00200

半导体制造教程之工艺晶体的生长资料概述

本文档的主要内容详细介绍的是半导体制造教程之工艺晶体的生长资料概述 一、衬底材料的类型1.元素半导体 Si、Ge…。2. 化合物半导体 GaAs、SiC 、GaN…
2018-11-19 08:00:0040

泛林集团携旗下前沿半导体制造工艺与技术亮相SEMICONChina2019

上海——3月20-22日,全球领先的半导体制造设备及服务供应商泛林集团携旗下前沿半导体制造工艺与技术亮相SEMICON China 2019,并分享其对半导体行业发展的深刻见解与洞察。作为中国半导体
2019-03-21 16:57:463815

半导体制造工艺基础PDF电子书免费下载

。第四章和第五章分别讨论了光刻和刻蚀技术。第六章和第七章介绍半导体掺杂的主要技术;扩散法和离子注入法。第八章涉及一些相对独立的工艺步骤,包括各种薄层淀积的方法。《半导体制造工艺基础》最后三章集中讨论制版和综合。
2020-03-09 08:00:00229

MEMS工艺——半导体制造技术

MEMS工艺——半导体制造技术说明。
2021-04-08 09:30:41237

两种标准的半导体制造工艺介绍

标准的半导体制造工艺可以大致分为两种工艺。一种是在衬底(晶圆)表面形成电路的工艺,称为“前端工艺”。另一种是将形成电路的基板切割成小管芯并将它们放入封装的过程,称为“后端工艺”或封装工艺。在半导体制造
2022-03-14 16:11:136771

半导体制造CMP工艺后的清洗技术

半导体芯片的结构也变得复杂,包括从微粉化一边倒到三维化,半导体制造工艺也变得多样化。其中使用的材料也被迫发生变化,用于制造半导体器件和材料的技术革新还没有停止。为了解决作为半导体制造工艺之一的CMP
2022-03-21 13:39:083886

半导体制造过程中的新一代清洗技术

VLSI制造过程中,晶圆清洗球定义的重要性日益突出。这是当晶片表面存在的金属、粒子等污染物对设备的性能和产量(yield)产生深远影响时的门。在典型的半导体制造工艺中,清洁工艺工艺前后反复进行
2022-03-22 14:13:163580

半导体制造工艺中浇口蚀刻后的感光膜去除方法

通过使半导体制造工艺中浇口蚀刻后生成的聚合物去除顺畅,可以简化后处理序列,从而缩短前工艺处理时间,上述感光膜去除方法是:在工艺室内晶片被抬起的情况下,用CF4+O2等离子体去除聚合物的步骤;将晶片安放在板上,然后用O2等离子体去除感光膜的步骤;和RCA清洗步骤。
2022-04-11 17:02:43783

一种半导体制造用光刻胶去除方法

本发明涉及一种去除光刻胶的方法,更详细地说,是一种半导体制造用光刻胶去除方法,该方法适合于在半导体装置的制造过程中进行吹扫以去除光刻胶。在半导体装置的制造工艺中,将残留在晶片上的光刻胶,在H2O
2022-04-13 13:56:42872

半导体制造工艺中的UV-LED解决方案

针对半导体制造工艺的UV-LED光源需求,虹科提供高功率的紫外光源解决方案,可适配步进器和掩膜版设备,更换传统工具中的传统灯箱,实现高质量的半导体质量控制。
2023-03-29 10:35:41712

SiC赋能更为智能的半导体制造/工艺电源

半导体器件的制造流程包含数个截然不同的精密步骤。无论是前道工艺还是后道工艺半导体制造设备的电源都非常重要。
2023-05-19 15:39:04479

ALD是什么?半导体制造的基本流程

半导体制造过程中,每个半导体元件的产品都需要经过数百道工序。这些工序包括前道工艺和后道工艺,前道工艺是整个制造过程中最为重要的部分,它关系到半导体芯片的基本结构和特性的形成,涉及晶圆制造、沉积、光刻、刻蚀等步骤,技术难点多,操作复杂。
2023-07-11 11:25:552902

半导体制造工艺之光刻工艺详解

半导体制造工艺之光刻工艺详解
2023-08-24 10:38:541223

半导体制造背后的艺术:从硅块到芯片的旅程

半导体制造是现代微电子技术的核心,涉及一系列精细、复杂的工艺步骤。下面我们将详细解析半导体制造的八大关键步骤:
2023-09-22 09:05:191720

[半导体前端工艺:第二篇] 半导体制工艺概览与氧化

[半导体前端工艺:第二篇] 半导体制工艺概览与氧化
2023-11-29 15:14:34541

使用压力传感器优化半导体制造工艺

如今,半导体制造工艺快速发展,每一代新技术都在减小集成电路(IC)上各层特征的间距和尺寸。晶圆上高密度的电路需要更高的精度以及高度脆弱的先进制造工艺
2023-12-25 14:50:47174

已全部加载完成