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什么是无定形碳膜？为什么选碳作为3D NAND的硬掩模？

无定形碳膜（Amorphous Carbon Film），即非晶碳膜，指的是一种由碳原子构成但没有长程有序结构的薄膜材料。

2024-03-22 标签：NAND PVD CVD 252 0

CVD成为工业制造应用更优选

金刚石具有低密度、高弹性模量、高强度、高热导率、化学惰性和生物相容性等优异特性，在声学领域主要应用于高保真喇叭、声表面波器件、声传感器等。

2024-01-08 标签：金刚石 CVD 工业制造 238 0

铜材料的CVD工艺是怎么实现的

介绍了铜材料的CVD工艺是怎么实现的以及什么情况下会用到铜CVD工艺。

2024-01-07 标签：晶圆工艺 CVD 680 0

CVD金刚石在机械密封领域中的应用

随着科技的不断发展，金刚石在许多领域中都展现出了巨大的应用潜力。其中，化学气相沉积（CVD）金刚石由于其独特的物理和化学性质，尤其在机械密封领域中有着广...

2024-01-04 标签：金刚石机械密封 CVD 334 0

金刚石晶体的不同类型及应用梳理

金刚石是我们都非常熟悉的超硬材料，人造金刚石晶体有多种不同的类型，大致可分为单形和聚形，每种类型都具有不同的特性和应用。本文梳理了金刚石晶体的不同类型及应用。

2024-01-02 标签：金刚石 CVD 763 0

三种碳化硅外延生长炉的差异

碳化硅衬底有诸多缺陷无法直接加工，需要在其上经过外延工艺生长出特定单晶薄膜才能制作芯片晶圆，这层薄膜便是外延层。几乎所有的碳化硅器件均在外延材料上实现，...

2023-12-15 标签：芯片半导体碳化硅 913 0

石墨烯材料在热管理领域的应用进展

随着国防技术的发展，高速飞行器和微电子器件等对材料的导热性能提出了更高的要求。

2023-12-14 标签：碳纳米管石墨烯热管理 372 0

90%的模具人都搞不懂模具爆裂是什么？模具爆裂原因分析

模具材质不好在后续加工中容易碎裂

2023-11-25 标签：PVD 压力机 HRC 404 0

CVD中的硅烷详解

硅烷（SiH4），是CVD里很常见的一种气体，在CVD中通常用来提供硅的来源，用途很广泛，我们来详细了解一下。

2023-11-24 标签：CVD 氮化硅 709 0

介绍一种可行的方法和潜在的机制来辅助自组装的转角石墨烯

近年来，能够生产无缺陷单层石墨烯和其他2D材料的生长技术得到了长足的发展。

2023-09-04 标签：电容器电阻器电感器 361 0

石墨烯基导热薄膜的研究进展情况分析

CVD因具有可控、高质量生长石墨烯的优点而引起国内外关注，据报道石墨烯薄膜可在多个衬底上生长，如Fe、Cu和Ni、 Pt等。研究表明，采用CVD工艺生长...

2023-09-01 标签：芯片晶体管石墨烯 390 0

石墨烯的制备方法有哪些石墨烯膜提升智能手机散热性能的方法

石墨烯内部碳原子的排列方式与石墨单原子层一样以sp2杂化轨道成键，并有如下的特点：碳原子有4个价电子，其中3个电子生成sp2键，即每个碳原子都贡献一个位...

2023-08-18 标签：传感器智能手机石墨 607 0

即插即用的视频深度预测框架是什么

在实验方面，我们在VDW数据集，以及公开的Sintel和NYUDV2数据集上，均取得了SOTA的空间精度和时域一致性。其中VDW和Sintel为自然场景...

2023-08-09 标签：网络视频数据传输 CVD 387 0

自下而上设计，精细合成硬碳微结构—高效碱金属负极！

碱金属离子电池（AMIBs）的电化学特性在很大程度上取决于负极材料。作为最有前途的负极材料之一，碳质材料具有成本低、资源丰富和环境友好等优点，在锂、钠和...

2023-08-07 标签：锂离子电池热处理电池充放电 1347 0

ALD在高深宽比器件制造上不可替代的应用

在集成电路领域中，深宽比被定义为刻蚀深度与刻蚀图形CD（Criticlal Dimension）的比值。CD是IC制造中的一个重要指标，通常与刻蚀的特征...

2023-07-14 标签：集成电路晶体管 PVD 1344 0

国产CVD设备在4H-SiC衬底上的同质外延实验

SiC薄膜生长方法有多种，其中化学气相沉积（chemical vapor deposition, CVD）法具有可以精确控制外延膜厚度和掺杂浓度、缺陷较...

2023-06-19 标签：新能源汽车晶圆 SiC 732 0

原子层ALD沉积介绍

原子层沉积（Atomic layer deposition，ALD）是一种可以沉积单分子层薄膜的特殊的化学气相沉积技术。

2023-06-15 标签：半导体 PVD CVD 2269 0

浅析芯片沉积工艺

在了解芯片沉积工艺之前，先要阐述下薄膜（thin film）的概念。薄膜材料是厚度介于单原子到几毫米间的薄金属或有机物层。

2023-06-08 标签：逻辑电路 PVD 储存器 2441 0

各种CVD材料介绍

Producer Black Diamond 3 系统设计为可与应用材料公司的 Producer Nanocure 3 UV 固化系统配合使用。Nan...

2023-05-25 标签：晶圆逻辑器件 CVD 4531 0

CVD与PVD的工艺特征及其建模方法

中国科学院大学集成电路学院是国家首批支持建设的示范性微电子学院。为了提高学生对先进光刻技术的理解，本学期集成电路学院开设了《集成电路先进光刻技术与版图设...

2023-05-16 标签：集成电路 CVD 光刻工艺 580 0

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