Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪 CVD 清洗终点优化

上海伯东日本 Atonarp Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪, 基于四级杆的质量分离, Aston 质谱分析仪设计紧凑, 适用于气体分析和过程气体监测, 满足半导体工艺过程中, 沉积, 刻蚀, 光刻等气体分析.

Aston 质谱分析仪 CVD 清洗终点优化
选择 clean 的反应物或者生成物, 使用 Aston 相对定量分析其中的气体成分, 可以动态判断 CVD 清洁过程的刻蚀终点的时间. 不论是气体的节省和工艺时间的节省都可以最大程度的增大产能.

Aston 质谱分析仪

Aston 质谱分析仪与腔室连接

Aston 质谱分析仪

Aston Impact 高灵敏度质谱分析仪基本参数

型号	Aston Impact-300	Aston Impact-300DP
质量分离	四级杆
离子发生器	电子电离 EI	电子电离 EI
检测器	法拉第杯 / 扫描电镜
真空系统	涡轮分子泵	涡轮分子泵 隔膜泵
质量范围	2-285 amu
检测限	100 ppb
精度	0.5%
可重复性	+/-0.5% over 24 Hr
耐腐蚀性气体	轻微
耐副产物气体	是
高速以太网	是
气体压力覆盖面广	是

上海伯东代理日本 Atonarp 过程控制质谱仪 Aston™, 通过使用分子传感技术, 提供半导体制程中 ALD, CVD, 蚀刻, ALE 和腔室在大批量生产中的气体侦测分析, 实现尾气在线监控, 诊断, 为半导体过程控制提供解决方案, 提高半导体制造工艺的产量, 吞吐量和效率, 在现有生产工艺工具上加装 Aston, 可在短时间内实现晶圆更高产量!

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