EPS200MMW专用探头系统的5个优点

该EPS200MMW探针系统满足67 GHz以上高级应用的测量需求，特别是在100 GHz及以上。类似于EPS150MMW平台，EPS200MMW采用成熟的设计方法设计，可实现同类产品中最高的测量精度。

EPS200MMW与EPS150MMW的所有当前SIGMA™集成套件兼容，可实现各种mmW应用集成。特别是在100 GHz以上的频率下，校准基板和DUT上的亚微米精度的探针放置对于准确和可重复的测量结果至关重要。 EPS200MMW采用刚性铸造底座，四点支撑的实心压板和高度精制的花岗岩底板，满足了这一需求。其创新的精细滑动卡盘平台提供宽范围粗动和亚微米级精细运动，结合刚性支撑，使EPS200MMW成为THz系列应用的最佳选择。

EPS200MMW是一种专用探测解决方案，旨在提供开箱即用的功能，以在最短的时间内获得准确的测量结果。 EPS200MMW提供的一些主要优点：

帮助每个人成为专家– EPS200MMW采用最着名的方法和设计，可实现最高THz的最高测量精度。

确保校准准确性– EPS200MMW包括WinCal XE™，业界领先的RF晶圆上校准软件。

增加动态范围和方向性– EPS200MMW使用模块化SIGMA套件提供仪器与设备之间的最短信号路径，始终确保最佳的仪器集成。

保护您未来的投资– EPS200MMW易于配置，可根据您的需求进行升级。

需要最少的培训– 设计方便，易于使用。

EPS200MMW采用坚固的铸造框架和带四点支撑的压板，具有出色的稳定性，可轻松实现μm精度。其抛光花岗岩底座消除了任何热或机械影响，确保了出色的平面度和系统稳定性。集成的隔振解决方案和可选的隔振台可在整个测量过程中保持高质量的接触。

独特的模块化SIGMA集成套件可无缝集成来自领先测量仪器供应商的mmW磁头和负载牵引调谐器，实现最高动态范围和方向性，而不会影响电气精度和机械稳定性。 SlimVue™显微镜可减轻小垫探测所需的高放大率光学元件的机械干扰。

定位器的无间隙XYZ运动，集成平面化和具有1μm可重复性的压板升程，可实现精确的探头放置和接触可重复性，相当于半自动化系统。 WinCal XE软件，经过验证的标准和优化的校准边界条件，使用LRRM或Multi Line TRL等高级校准，以及验证测量结果的准确性，可实现高达THz范围的卓越校准精度。

直观的操作工作流程，创新的精细滑动卡盘平台，提供宽范围粗动和微米级精细运动，接触规，探头碰撞保护器，集成辅助卡盘和WinCal XE，确保新手操作简便和专家用户。

EPS200MMW系统专为可升级性而设计，可轻松进行重新配置，以满足您未来的项目要求。

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审核编辑 黄昊宇