12月27日,中国石化与晶瑞电材合作的产能达1万吨的集成电路用G5级异丙醇项目正式启动。此举将助推我国集成电路关键技术如超净高纯异丙醇制备、金属杂质控制和水分控制等方面的突破。
异丙醇作为湿电子化学品的主要有机溶剂,被广泛用于集成电路制程中的清洗和干燥步骤,是高端芯片制造的关键原料。值得注意的是,由于我国超净高纯异丙醇仍需大量进口,这成为产业链中的一环短板。
据了解,该集成电路用G5级异丙醇项目计划建立严格的产品评估和生产验证系统,以确保达到14纳米及以上集成电路生产线的产业化需求,从而实现国产化的技术和产品。
湖北省潜江市市委书记盛文军表示,两大巨头的携手将推动工艺扩大的技术突破,并进一步完善集成电路产业链。自2019年来,潜江市政府与晶瑞电材联手设立了长江微电子材料产业基金,推动园区由零起步、逐渐壮大,与武汉的京东方、长江存储、华星光电、天马微电子等大企业形成上下产业链配套。
迄今为止,晶瑞电材已成功研发出半导体湿电子化学品中的高纯硫酸、双氧水、氨水等产品,其中金属杂质含量低于10ppt,达到G5等级,已可满足目前主流的先进集成电路技术节点需求,有实力与国际前列企业竞争。同时,其在光刻胶产品上也有所突破,可提供紫外宽谱和部分g线、i线、KrF光刻胶等产品。
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中国石化与晶瑞电材合作推动集成电路用异丙醇国产化
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