P60.Z1000系列一维压电纳米定位台，行程可达毫米！

P60.Z1000系列压电纳米定位台是一款具有大行程特点的一维Z向运动压电平台。它的内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，配合无摩擦柔性铰链机构，利用机构放大的驱动形式，实现大行程精密定位运动，行程可高达1mm。它的负载可达1.5kg，在行程大的同时兼具了大负载的特点。该产品可选配高精度传感器进行闭环精密定位控制。可广泛应用于光学、半导体、航空航天、生物医疗等领域。产品外观如下图所示。

产品特点

Z向位移1000μm

承载1.5kg

毫秒级响应时间

闭环重复定位精度高

可选闭环传感器

真空版本可选

产品应用

光学测量

光学检测

显微扫描

激光干涉

生物科技

纳米操控技术

纳米光刻

纳米测量

技术参数

型号		P60.Z1000S/K-C
运动方向		Z
驱动控制		1路传感/1路驱动
标称行程范围（0~120V）		800µm
Max.行程范围（0~150V）		1000µm
传感器类型		SGS/-
分辨率		35nm/10nm
闭环重复定位精度		0.1%F.S./-
空载谐振频率		80Hz
承载能力	水平安装	1.5kg
	立式安装	0.02kg
	倒置安装	0.05kg
静电容量		72μF
材质		钛、铝
重量		＜1.3kg

配套控制器

E53.D系列压电控制器非常适用于驱动P60.Z1000系列压电纳米定位台。E53.D系列是针对小体积应用要求而设计的单通道控制器，体积小巧，外形尺寸仅为148×27.5×80mm^3，重量为350g，供电电压24VDC/1A。机身带有散热区域，可迅速导出产生的热量，上位机软件支持二次开发，体积小巧，易于集成。

审核编辑 黄宇