S54.T1S/K-C系列高精度中空式二维压电偏摆台
S54.T1S/K-C系列压电偏摆台是一款高精度压电偏摆台，可产生θx、θy二维偏转运动。整体采用无摩擦柔性铰链结构设计，具有响应速度快、定位精度高的特点。此款压电偏摆台配合闭环传感器可实现0.011%F.S.的重复定位精度，适用于各种高精度应用。它的中心具有大型通孔设计，透光孔径为110×80mm^2，也适用于透射光应用等。产品外观如下图所示。
产品特点
01θx、θy二维偏摆
02闭环重复定位精度高
03闭环快速阶跃
负载300g运动0.4mrad的阶跃时间可达25ms
04中心大通孔
产品应用
注：图片来源于网络
技术参数
| 型号 | S54.T1S/K-C | |
| 运动自由度 | θx，θy | |
| 驱动控制 | 3路驱动，2路传感/3路驱动 | |
|
标称偏摆角度 （0~120V） |
±0.65mrad | |
|
Max.偏摆角度 （0~150V） |
±0.8mrad | |
| 传感器类型 | SGS/- | |
| 通孔尺寸 | 110mm×80mm | |
| 闭/开环偏摆分辨率 | 0.1μrad/0.03μrad | |
| 闭环线性度 |
θx0.01%F.S.， θy0.009%F.S./- |
|
| 闭环重复定位精度 |
θx0.011%F.S.， θy0.023%F.S./- |
|
| 空载谐振频率 | 445Hz/490Hz | |
| 带载谐振频率@300g | 250Hz/300Hz | |
| 阶跃时间 | 25ms@0.4mrad，300g/5ms | |
| 承载能力 | 水平方向 | 300g |
| 静电容量 | 3.6μF/轴 | |
| 材质 | 不锈钢、铝合金 | |
| 重量 | 560g（含线） |
配套控制器
E70系列压电控制器是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的三通道压电陶瓷控制器。它采用DC24V供电，输出电压0~120V/150V可选，带宽可达10kHz，优化传感伺服模块提高了PI调节与控制的精准度与稳定性，可通过RS-232/RS-422、USB或网口进行数字通信，同时上位机软件支持二次开发，方便快捷。
审核编辑 黄宇
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