S54.T1S/K-C系列高精度中空式二维压电偏摆台

S54.T1S/K-C系列压电偏摆台是一款高精度压电偏摆台，可产生θx、θy二维偏转运动。整体采用无摩擦柔性铰链结构设计，具有响应速度快、定位精度高的特点。此款压电偏摆台配合闭环传感器可实现0.011%F.S.的重复定位精度，适用于各种高精度应用。它的中心具有大型通孔设计，透光孔径为110×80mm^2，也适用于透射光应用等。产品外观如下图所示。

产品特点

01θx、θy二维偏摆

02闭环重复定位精度高

03闭环快速阶跃

负载300g运动0.4mrad的阶跃时间可达25ms

04中心大通孔

产品应用

注：图片来源于网络

技术参数

型号	S54.T1S/K-C
运动自由度	θx，θy
驱动控制	3路驱动，2路传感/3路驱动
标称偏摆角度 （0~120V）	±0.65mrad
Max.偏摆角度 （0~150V）	±0.8mrad
传感器类型	SGS/-
通孔尺寸	110mm×80mm
闭/开环偏摆分辨率	0.1μrad/0.03μrad
闭环线性度	θx0.01%F.S.， θy0.009%F.S./-
闭环重复定位精度	θx0.011%F.S.， θy0.023%F.S./-
空载谐振频率	445Hz/490Hz
带载谐振频率@300g	250Hz/300Hz
阶跃时间	25ms@0.4mrad，300g/5ms
承载能力	水平方向	300g
静电容量	3.6μF/轴
材质	不锈钢、铝合金
重量	560g（含线）

配套控制器

E70系列压电控制器是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的三通道压电陶瓷控制器。它采用DC24V供电，输出电压0~120V/150V可选，带宽可达10kHz，优化传感伺服模块提高了PI调节与控制的精准度与稳定性，可通过RS-232/RS-422、USB或网口进行数字通信，同时上位机软件支持二次开发，方便快捷。

审核编辑 黄宇