P75.Z200S/K系列大行程、高精度压电物镜定位器

在微观世界的探索中，精准定位是成功的关键。压电物镜定位器在生命科学、材料科学、半导体等领域提供了高精度、高稳定性的物镜定位解决方案，已成为众多精密操作的得力助手。它采用先进的压电陶瓷驱动技术，通过精确控制施加在压电陶瓷上的电压，使其产生极其微小但精确可控的伸缩变化。这些微小的伸缩经过巧妙的机械结构放大和传递，从而实现物镜的高精度位移调整。这种基于逆压电效应的工作方式，使得压电物镜定位器能够在微观尺度上实现精准定位，为满足各种高精度应用需求提供了坚实的技术基础。

P75.Z200S/K压电物镜定位器

P75.Z200S/K压电物镜定位器行程可达250μm，可带动0.2kg以内的物镜做Z向运动。内置高性能压电陶瓷，采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，无摩擦，直线性好，可实现纳米级分辨率、线性度及重复度，且同轴度高。物镜补偿量较小，具有毫秒级响应速度和超高聚焦稳定性。外观采用紧凑型设计，体积小巧，易于集成到各种型号显微镜系统中，使用分离式螺纹适配器设计，可适配多种尺寸物镜头，为客户提供灵活适配解决方案。产品外观如下图所示。

产品特点

位移范围可达250μm

承载达0.2kg

空载谐频可达389Hz

分离式螺纹适配器设计

同轴度高

产品应用

1.生物医学研究

压电物镜定位器可应用在荧光显微镜、共聚焦显微镜、超高分辨率显微镜等设备中，用于精确定位细胞、组织样本，帮助科研人员深入研究生物分子的结构和功能等。

2.半导体制造

压电物镜定位器可用于晶圆切割、光刻、激光直写等生产制造工序，提高芯片的性能和生产良率。

3.材料科学领域

可搭配原子力显微镜进行材料表征、纳米加工等应用，在微观尺度研究材料的结构与性能。

4.光学领域

压电物镜定位器可应用于白光干涉。压电物镜定位器能够实时、精确地调整物镜位置，精确控制参考光路和测量光路的光程差。

技术参数

型号	P75.Z200S/K
运动自由度	Z
驱动控制	1路驱动，1路传感/1路驱动
标称行程范围（0~120V）	200μm
Max.行程范围（0~150V）	250μm
传感器类型	SGS/-
闭/开环分辨率	6nm/2.5nm
闭环重复定位精度	0.05%F.S./-
推/拉力	25N/10N
运动方向刚度	0.1N/μm
空载谐振频率	389Hz
闭环工作频率（-3dB）	20Hz/-
空载阶跃时间	25ms@200g/10ms
承载能力	0.2kg
静电容量	6.5μF
材质	钢、铝
重量	225g

配套控制器

E53系列压电控制器适用于驱动P75.Z200S/K压电物镜定位器。E53系列是针对小体积应用要求而设计的单通道控制器，采用24VDC/1.5A供电，模拟与数字控制，开闭环可选，体积小巧，外形尺寸不超过148×27.5×80mm^3，重量在240g~370g之间。机身带有散热区域，可迅速导出产生的热量，上位机软件支持二次开发，体积小巧，易于集成。根据功能不同可分为E53.A(模拟控制)、E53.B（模拟、伺服控制）、E53.C（模拟与数字控制）、E53.D（模拟与数字控制、伺服控制）四个版本，产品外观如下图所示。

审核编辑 黄宇