P35A.T35系列大行程压电偏转镜

P35A.T35系列是一款兼具大行程、高精度、高频率特点的二维运动压电偏转镜。它可产生θx、θy二维偏转，偏转角度达±18.5mrad，空载谐振频率达2kHz，可配置闭环传感器，闭环重复定位精度可达0.025%F.S.。外观采用方形的设计，在物理上实现空间的最大化利用便于集成，非常适合高精度大行程角度的快速偏转应用。产品外观如下图所示。

产品特点

二维θx、θy偏转

偏转角度达±18.5mrad

空载谐振频率2kHz

可定制

可选配闭环传感器

产品应用

P35A.T35系列压电偏转镜可广泛应用于图像处理/稳定、隔行扫描/抖动、光过滤/开关、激光扫描、光束偏转与稳定、扫描显微等光学应用。

技术参数

型号	P35A.T35S/K
运动自由度	θx、θy
驱动控制	3路驱动，2路传感
标称偏转角度（0~120V）	±14.8mrad/轴
偏转角度（0~150V）	±18.5mrad/轴
传感器类型	SGS/-
闭/开环分辨率	1.2μrad/0.4μrad
线性度	0.13%F.S./-
重复定位精度	θx0.05%F.S., θy0.025%F.S./-
空载谐振频率	2000Hz
带载谐振频率	1800Hz （负载Φ12.7×3mm镜片） 1100Hz （负载Φ24.5×3mm镜片）
闭环阶跃时间	7ms@Φ12.7×3mm镜片 8ms@Φ24.5×3mm镜片
静电容量	7.2μF/轴
材质	钛合金、铝
重量	155g

配套控制器

E80.D3S-P多通道压电控制器非常适用于驱动P35A.T35系列压电偏转镜，采用模拟和数字控制，具有3个输出通道，其中1通道输出恒压，非常适于差分驱动。此外，该控制器配备有传感信号监测部分，可反馈体现压电偏转镜偏转角度的电压信号，实现对偏转镜的高精确度控制。控制器可满足电磁兼容试验（CS101、CS114、CS115、CS116、RE102、RS103）、力学冲击试验（重力加速度20g）、22.6kPa低气压试验（绝对值）等诸多严格的环境试验。

审核编辑 黄宇