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白光干涉仪

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干涉仪是一种对光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的仪器。其基本原理就是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。

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　　干涉仪是一种对光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的仪器。其基本原理就是通过不同光学元件形成参考光路和检测光路。

　　光的干涉是指从目标对象表面到某点的光距（光路）产生偏差时，所发生的现象。利用这种现象测量目标对象表面凹凸的就是光学干涉仪。右图是干涉应变计的结构图。从光源（半导体激光等）发出的光有一些透过分光镜到达参考面上，其余被反射到样本表面。透过的光经参考面反射通过光接收元件即CCD元件成像。其余被反射的光经目标对象表面反射透过分光镜，同样通过光接收元件即CCD元件成像。

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