优可测白光干涉仪和薄膜厚度测量仪：如何把控ITO薄膜的“黄金参数”

ITO薄膜（Indium Tin Oxide，氧化铟锡）是一种透明导电氧化物（TCO）薄膜，由氧化铟（In₂O₃）和氧化锡（SnO₂）按一定比例（90%In₂O₃和10%SnO₂）混合制成，兼具高透光性和优良导电性，因其优异特性在各行业都有着广泛应用。

ITO薄膜的行业应用

光伏能源

ITO薄膜作为透明材料电极，在异质结太阳能电池中，可以优化光的吸收和电荷传输，以此提升光电转换效率。此外，ITO薄膜的导电透光特性也影响着钙钛矿电池和CIGS薄膜电池的转换效率。显示面板ITO薄膜凭借高透光率85%-95%（接近玻璃的透光率），以及其低电阻率（10⁻⁴~10⁻³ Ω·cm），成为LCD、OLED、触摸屏的关键材料，其广泛应用在智能手机、平板电脑、电子白板等设备。智能调光凭借其ITO薄膜的高透光性和导电性，通过电场调节透光率，可以实现动态节能与遮阳，应用于绿色节能建筑和汽车玻璃。新兴行业应用目前，ITO薄膜在AR/VR光学器件、医疗检测传感器等多个新兴行业中崭露头角，未来或将在更多新科技场景中发挥重要作用。
把控表面粗糙度与厚度的重要性

表面粗糙度

ITO表面粗糙度影响其电学性能、光学性能与器件可靠性。若表面粗糙度过大，会降低载流子注入效率、影响光散射、降低透光率等等，甚至会导致后续镀膜（如SiO₂保护层）出现针孔或剥离。优可测白光干涉仪AM系列，可以精准测量ITO薄膜的表面粗糙度，精度高达亚纳米级，扫描速度高达400μm/s，帮助厂家优化产品性能，实现降本增效。

厚度

ITO薄膜厚度影响其电学性能、光学性能以及工艺成本。

• 不同厚度的ITO薄膜，其方阻大小不一，需要根据实际需求调控薄膜厚度；
• 厚度影响光程差，且厚度不均会导致可见光波段透光率曲线偏移；
• 在性能需求范围下适当减小薄膜厚度，减少成本。厚度每降低10nm，可减少约15%的铟用量，对成本敏感的大面积光伏应用尤为重要。

优可测薄膜厚度测量仪AF-3000系列，亚纳米级精度测量ITO薄膜厚度，可适应离线、在线等多种测量场景，单点测量速度＜0.5s（包括运动时间）。

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