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电子发烧友网>今日头条>一种基于摩擦诱导选择性蚀刻的新型纳米制备方法

一种基于摩擦诱导选择性蚀刻的新型纳米制备方法

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2022-05-30 16:39:11917

载体晶圆对蚀刻速率、选择性、形貌的影响

等离子体蚀刻是氮化镓器件制造的一个必要步骤,然而,载体材料的选择可能会实质上改变蚀刻特性。在小型单个芯片上制造氮化镓(GaN)设备,通常会导致晶圆的成本上升。在本研究中,英思特通过铝基和硅基载流子来研究蚀刻过程中蚀刻速率、选择性、形貌和表面钝化的影响。
2023-05-30 15:19:54452

一种新型的锗化硅(SiGe)干式选择性各向同性原子层蚀刻技术

纳米线(NWs)已经为气体和生物传感提供了一个极好的平台, 从而研究如何使纳米线的表面功能化,由于纳米尺度尺寸与分子尺寸兼容性,导致我们需要考虑如何使纳米线的表面功能化,从而以良好的选择性检测特定的气体分子。
2023-06-16 14:12:33961

一种孔径小于10纳米的固态纳米制备新技术

高质量固态纳米孔的制备是DNA测序、纳流器件以及纳滤膜等应用的关键技术。当前,在无机薄膜材料中制备固态纳米孔的主流方法是聚焦离子/电子束刻蚀。
2023-07-04 11:08:08137

研究中心研发出一种孔径小于10纳米的固态纳米制备新技术

近日,中国科学院近代物理研究所材料研究中心与俄罗斯杜布纳联合核子研究所合作,研发出一种孔径小于10纳米的固态纳米制备新技术。相关研究成果发表在《纳米快报》(Nano Letters
2023-07-04 11:10:56364

无氢氟蚀刻剂中钛选择性湿蚀刻铜的研究

众所周知,微尺度和纳米尺度的地形结构对真核细胞和原核细胞的行为都有显著的影响。例如,具有特殊尺寸的纳米线、纳米柱、纳米管已被证明具有抗菌性能。开发这种结构提供了一种无药物的方法来对抗感染,这被认为是一种替代释放抗菌剂的常见抗菌表面的替代品。
2023-10-23 09:43:16136

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