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电子发烧友网>今日头条>基于 KOH 的 AIN 和 GaN 体的选择性湿化学蚀刻

基于 KOH 的 AIN 和 GaN 体的选择性湿化学蚀刻

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2023-06-01 09:53:03

中科院苏州纳米所:具有Janus结构高机械强度的选择性响应柔性力学传感器

传感新品 【中科院苏州纳米所:具有Janus结构高机械强度的选择性响应柔性力学传感器】 兼具优异机械性能与不同类型力选择性响应能力,是促进柔性力学传感器件走向实际应用的关键难点之一。现有柔性
2023-06-01 08:45:37391

载体晶圆对蚀刻速率、选择性、形貌的影响

等离子体蚀刻是氮化镓器件制造的一个必要步骤,然而,载体材料的选择可能会实质上改变蚀刻特性。在小型单个芯片上制造氮化镓(GaN)设备,通常会导致晶圆的成本上升。在本研究中,英思特通过铝基和硅基载流子来研究蚀刻过程中蚀刻速率、选择性、形貌和表面钝化的影响。
2023-05-30 15:19:54452

浅谈蚀刻工艺开发的三个阶段

纳米片工艺流程中最关键的蚀刻步骤包括虚拟栅极蚀刻、各向异性柱蚀刻、各向同性间隔蚀刻和通道释放步骤。通过硅和 SiGe 交替层的剖面蚀刻是各向异性的,并使用氟化化学。优化内部间隔蚀刻(压痕)和通道释放步骤,以极低的硅损失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

离线语音控制天猫生态,畅享智能加湿化梦幻机

湿
jf_99080906发布于 2023-05-29 14:53:05

硅在氢氧化钠和四甲基氢氧化铵中的温度依赖性蚀刻

过去利用碱氢氧化物水溶液研究了硅的取向依赖蚀刻,这是制造硅中微结构的一种非常有用的技术。以10M氢氧化钾(KOH)为蚀刻剂,研究了单晶硅球和晶片的各向异性蚀刻过程,测量了沿多个矢量方向的蚀刻速率,用单晶球发现了最慢的蚀刻面。英思特利用这些数据,提出了一种预测不同方向表面的倾角的方法
2023-05-29 09:42:40618

湿式化学蚀刻法制备硅片微孔

微孔利用光和物质的相互作用来获得独特的性质,特别是,当用紫外光、可见光或近红外光在其表面等离子体极化频率附近照射时,金属微孔结构表现出强烈的共振。然而,用于制造微孔的技术是耗时的,并且需要昂贵的设备和专业人员。因此,英思特开发了一种通过湿化学蚀刻硅衬底来制造微孔的方法。
2023-05-25 13:47:51846

如何在蚀刻工艺中实施控制?

蚀刻可能是湿制程阶段最复杂的工艺,因为有很多因素会影响蚀刻速率。如果不保持这些因素的稳定,蚀刻率就会变化,因而影响产品质量。如果希望利用一种自动化方法来维护蚀刻化学,以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

PCB常见的五种蚀刻方式

一般适用于多层印制板的外层电路图形的制作或微波印制板阴板法直接蚀刻图形的制作抗蚀刻 图形电镀之金属抗蚀层如镀覆金、镍、锡铅合金
2023-05-18 16:23:484917

硅晶片的酸基蚀刻:传质和动力学效应

抛光硅晶片是通过各种机械和化学工艺制备的。首先,硅单晶锭被切成圆盘(晶片),然后是一个称为拍打的扁平过程,包括使用磨料清洗晶片。通过蚀刻消除了以往成形过程中引起的机械损伤,蚀刻之后是各种单元操作,如抛光和清洗之前,它已经准备好为设备制造。
2023-05-16 10:03:00584

电力系统对继电保护的基本要求有哪些?

  继电保护装置应满足可靠选择性、灵敏和速动的要求:这四“”之间紧密联系,既矛盾又统一。   (1)可靠是指保护该动时应可靠动作。不该动作时应可靠不动作。可靠是对继电保护装置性能
2023-04-25 17:32:17

酸性化学品供应控制系统

[技术领域] 本实用新型涉及半导体制造技术领域,具体地说是一种酸性化学品供应控制系 统。 由于半导体行业中芯片生产线的工作对象是硅晶片,而能在硅晶片上蚀刻图形 以及清洗硅晶片上的杂质、微粒子的化学
2023-04-20 13:57:0074

PCB印制线路该如何选择表面处理

些却不能保证这些应用所需的高可靠。下面列出了一些可以用于从直流电路到毫米波频段电路以及高速数字(HSD)电路的PCB表面处理:▪化学镍金(ENIG)▪化学镍钯金(ENEPIG)▪热风整平(HASL
2023-04-19 11:53:15

求助,是否有关于GaN放大器长期记忆的任何详细信息

是否有关于 NXP GaN 放大器长期记忆的任何详细信息。数据表说“专为低复杂线性系统设计”。长期记忆是否不再是当前几代 GaN 器件的关注点?这是整个产品堆栈吗?
2023-04-17 06:12:19

干法蚀刻与湿法蚀刻-差异和应用

干法蚀刻与湿法蚀刻之间的争论是微电子制造商在项目开始时必须解决的首要问题之一。必须考虑许多因素来决定应在晶圆上使用哪种类型的蚀刻剂来制作电子芯片,是液体(湿法蚀刻)还是气体(干法蚀刻
2023-04-12 14:54:331004

从头到尾的半导体技术

湿法蚀刻工艺的原理是使用化学溶液将固体材料转化为液体化合物。选择性非常高
2023-04-10 17:26:10453

哪些因素能影响应用的电池化学选择呢?

影响应用的电池化学选择:  可重用——首先需要确定的是给定电路是可充电的还是应该依靠电池更换。因此,原电池或二次电池类型可用于该装置。  生命周期耐久——当电池是电路中使用的原电池时,电池的耐久
2023-03-29 15:47:44

PCB加工的蚀刻工艺

印刷线路板从光板到显出线路图形的过程是一个比较复杂的物理和化学反应的过程,本文就对其最后的一步--蚀刻进行解析。目前,印刷电路板(PCB)加工的典型工艺采用"图形电镀法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

调温调湿箱的特点介绍

调温调湿箱全名“恒温恒湿试验箱”是航空、汽车、家电、科研等领域必备的测试设备,用于测试和确定电工、电子及其他产品及材料进行高温、低温、湿热度或恒定试验的温度环境变化后的参数及性能,它主要用于根据试验
2023-03-28 09:02:36

使用 ClF 3 H 2远程等离子体在氧化硅上选择性蚀刻氮化硅

在湿蚀刻的情况下,随着SiNx/SiOy层的厚度减小,剩余的SiOy层由于表面张力而坍塌,蚀刻溶液对孔的渗透变得更具挑战性。
2023-03-27 10:17:49402

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