无尘室中常见发尘源的分析与维护

通常情况下尘埃粒子是指以区分空气洁净程度等级为目的的，且粒径限值在0.1微米至5.0微米范围内的液体或固体。而粉尘（dust）是指悬浮在空气中的固体微粒，习惯上对粉尘有许多名称,如灰尘、尘埃、烟尘、矿尘、砂尘、粉末等,这些名词没有明显的界限。国际标准化组织规定,粒径小于75μm的固体悬浮物定义为粉尘。常见的污染颗粒还有病毒、细菌、微生物等，具体的种类与大小分布如下：

无尘室是应用于半导体、显示面板等相关制造工艺的一种受控环境，它对环境中的温湿度、洁净度、室内压力、风速、照度等均有一定的要求，因此洁净度管控对无尘室性能的影响至关重要。若要控制好洁净室的洁净度，找到影响无尘室内洁净度的因素非常关键。根据许多行业人士的细心分析，总结了下面一些影响因素：

建筑物表面会因为表面材料理化特性、室内环境影响、施工品质、表面污染难以清洁、尘埃粒子表面沉积等原因出现发尘问题。

空调系统一般有外循环系统和内循环系统，无论哪种系统，都靠精密过滤器对空气质量进行保障，一旦过滤器出现泄漏或过滤效果不佳，都会增加污染环境的风险。

人是无尘室中最大的污染源。一个人通常每四天完成一次皮肤的完全脱换，每分钟脱落约1000片皮肤。人类的头发一直在脱落，人类吐出的口水包括钠、酶、盐、钾、氯化物及食品微粒。人类的日常衣物：微粒、纤维、硅土、纤维素、各种化学品和细菌。人类静止和坐立每分钟将产生10000个大于0.3微米的微粒。人类在头部和躯干做动作时每分钟将产生1000000个大于0.3微米的微粒。人类以0.9m/s的速度行走时每分钟将产生5000000个大于0.3微米的微粒。人吸烟也会产生大量的Particle。

工厂的来料本身存在发尘现场、一些污迹的物品进入FAB前未进行清洁、一些难以搬运的设备在使用机械运输过程中等都会造成发尘的问题。

机台长时间运转，设备硬件之间会发生不同程度的摩擦，进而产生一些碎屑污染环境。因此设备需要定期进行保养清洁。

在了解了发尘因素以后对无尘室管控就有了一定的方向，建议使用者可根据如下一下方面对自己的无尘环境进行综合有效的管理：

高效过滤器及FRAME不能有泄漏；

室内必须维持设计之压力；

作业人员必须更衣，经过风淋室后进入无尘室；

所有设备、工具、材料等必须清洗干净后才能带入无尘室；

1. 必须穿无尘衣；

2. 不可使用容易发尘的材料；

3. 减少不必要的动作；

4. 没有必要的物品，不允许带入；

1. 避免难以清扫清洁的角落存在；

2. 尽量减少风管、水管在无尘室内裸露；

3. 必须按照标准作业程序及规定时间进行清洁；

1. 增加换气次数；

2. 在发尘源处增加排气；

3. 改善气流形状避免Particle附着于产品上；

4. 施工中产生的废材废料必须及时进行清洁处理
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