深入探讨MEMS和传感器技术的未来

MEMS和传感器产业来说是个好年景，且这种增长趋势会持续下去。预测所有固态传感器和执行器市场将实现强劲增长，到2023年达到千亿美元级，出货量达1850亿颗。光学传感器，特别是CMOS图像传感器，将占据该领域近40%的市场份额。MEMS也将在这一增长中发挥重要作用：在2018~2023年期间，MEMS市场规模增长率为17.5%，出货量增长率为26.7%，其中消费领域占比超过50%。

2017~2023年MEMS市场（按应用领域细分）来源：《MEMS产业现状-2018版》

传感器的演变历程最初开发的传感器主要用于物理量的探测：如冲击、压力，后来用于测量加速度和旋转。随着研发投入增加，MEMS从对物理量的探测扩展到对光的感应和操控（如MEMS微镜），再进一步扩展到非制冷红外传感器（如微辐射热计）。从对光的感应到对声音的感应，MEMS麦克风掀起了下一波MEMS浪潮。MEMS和传感器正在进入令人兴奋的全新演变阶段，因为它们超越了人类感官，向超声波、红外和高光谱传感方向发展。

当我们的身体或情绪感知在某种程度上受到限制时，传感器却能弥补我们的不足。超越人耳的MEMS麦克风已经用于听障人士。亚利桑那州立大学的研究人员正在开发人工耳蜗植入物——压电MEMS传感器，有朝一日可能会使那些听力受损严重的人士恢复听力。lw