白光干涉仪是以白光干涉技术为原理,能够以优于纳米级的分辨率,非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器,用于表面形貌纹理,微观结构分析,用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数,广泛应用于光学,半导体,材料,精密机械等领域。
SuperViewW1白光干涉仪
白光干涉仪扫描原理
在利用白光干涉测量表面三维形貌的过程中,对于被测表面上某一点来说,为了定位其零光程差位置,必须采用某种扫描方式改变参考镜或者被测表面的位置,以此来获得该点光强变化的离散数据,然后依据白光干涉的典型特征来判别并提取最佳干涉位置。因此称这种方法为扫描白光干涉测量法。
测量原理
白光干涉仪测量方法
1.点击XY复位,使得镜头复位到载物台中心
2.将被测物放置在载物台夹具上,被测物中心大致和载物台中心重合;
3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件;
4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度,找到干涉条纹;
5.设置好扫描方式和扫描范围;
6.点击选项图标,确认自动找条纹上下限无误;
7.点击多区域测量图标,可选择方形和(椭)圆形两种测量区域形状;
8.根据被测物形状和尺寸,"形状”栏选择“椭圆平面”,X和Y方向按需设置;
9.点击弹出框右下角的“开始”图标,仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。
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