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      微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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      单晶硅是最先尝试使用的芯片基材。硅及二氧化硅具有良好的化学惰性和热稳定性，而且硅的微细加工技术已趋成熟。即使复杂的三维结构，也可用整体和表面微加工技术进...

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      微流控技术是下一代医疗诊断颠覆性技术,聚合物的微加工方法

      然而对于微尺度结构的加工，尤其是高深宽比结构的填充，注塑成型通常做的不如热压成型填充率高，对于微结构的填充最有效的办法是使用变模温注塑技术，即在一个循环...

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