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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

MEMS/NEMS结构基于模板的广度相位解包裹方法

在对微/纳机电系统(micro/nano electro me-chanical system，MEMS/NEMS)结构的特性参数进行测量和MEMS/N...

2018-05-03 标签：mems nems 1.4k 0

MEMS硅膜电容式压力传感器的基本原理和结构设计

目前敏感薄膜的材料多采用重掺杂p型硅、Si3N4、单晶硅等。这几种材料都各有优缺点，其选择与目标要求和具体工艺相关。硅膜不破坏晶格，机械性能优异，适于阳...

2018-03-30 标签：电容 mems 压力传感器 2.2万 0

基于MEMS技术的风速和风向测量传感器设计

硅薄膜式测风传感器的设计示意图如图1所示。薄膜式风速风向传感器主要是利用风吹薄膜对薄膜产生风压，风压导致薄膜形变，薄膜上的应变电阻就会感应到薄膜的形变。...

2018-04-02 标签：传感器 mems 7.1k 0

MEMS开启划片技术新时代湿式激光切割和干式激光切割介绍

MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技...

2018-04-02 标签：mems 激光划片 5.1k 0

MEMS IC和传统IC的无缝互连集成技术

MEMS 芯片的集成通常是指电子和机械功能的集成。那么这种工艺的最终目标是什么呢？答案是：将MEMS 结构无缝集成到与之相连的同一CMOS 芯片上。 ...

2018-04-10 标签：ic mems 微流体 4.4k 0

一文详解MEMS压力传感器原理及与IC的异同

MEMS压力传感器广泛应用于汽车电子如TPMS、发动机机油压力传感器、汽车刹车系统空气压力传感器、汽车发动机进气歧管压力传感器（TMAP）、柴油机共轨压...

2018-04-10 标签：ic mems 压力传感器 3.8万 0

MEMS加速度传感器双赢局面仍有趋势

市场容量持续扩张从加速度传感器实现的功能来看，无论是国际知名品牌的手机，还是普通的手机，其主要功能是通过倾斜、晃动等动作来实现用户界面控制、游戏控制...

2018-04-10 标签：mems 加速度传感器 987 0

MEMS加速度传感器致力汽车主安全防患未然

随着移动互联网和物联网的快速发展，MEMS微机电系统产业迎来了重大发展机遇。在致力于防患未然的汽车主动安全领域，ESC（车身稳定系统）、ABS（防抱...

2018-03-29 标签：mems 加速度传感器 1.2k 0

MEMS麦克风改变设备声学性能的工作原理

想象一下不到普通麦克风一半大小并带有集成音频信号处理功能，MEMS麦克风可以作为单芯片手机一个集成部分。新型MEMS麦克风的全部潜能还有待挖掘，但是第一...

2018-04-10 标签：MEMS 麦克风 4.3k 0

如何利用MEMS加速计进一步提高工业应用精度？

随着高集成度和更精密的加速计产品的出现，系统设计师需要了解零件是如何校准的，因为这决定着他们是购买这些校准方案还是开发自己的校准程序。本文将讨论双轴加速...

2018-04-11 标签：mems 工业应用 1.6k 0

ADI：将异构制造的话题作为产业未来发展趋势的一个重要观察角度

ADI公司总裁兼首席执行官Vincent Roche在对2018年的技术趋势展望一文《这些创新将影响我们2018年的生活》中，首次发出将异构制造的话题作...

2018-01-18 标签：adi mems 开关技术 5.9k 0

MEMS传感器在消费类领域的应用

硬盘驱动器保护功能硬盘驱动器坠落保护功能是MEMS运动传感器在消费电子市场的具有重要历史意义的代表性应用之一。在手提电脑内的三轴加速度传感计可以监测...

2018-04-09 标签：传感器 mems 1.7k 0

MEMS光开关控制原理解析

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是指将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的可批量...

2018-01-17 标签：开关 mems 1.0万 0

基于GTI的1x3波长复用/解复用器的系统级性能分析

波分复用器和解复用器几乎是所有WDM系统和网络的主要组成部分。从传统意义上讲，多路复用/解复用器（de/mux）都属于静态器件，随着温度的变化波长范围会...

2018-01-17 标签：mems 复用器 1.6k 0

ADI新产品为添新功能，应用MEMS陀螺仪和加速度计工作原理

在ADI公司的一间会议室中，Howard Wisniowski用一只手拿起比纪念邮票稍大一点的演示板，并停留在离桌面一米左右的空中。这块演示板上安装有A...

2018-01-17 标签：adi mems 3.3k 0

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2018-01-17 标签：传感器 mems 1.6k 0

基于MEMS技术的加速度传感器分析与应用

MEMS技术正在逐步走向民用和消费类市场，我们正处于“MEMS狂潮”的开端，ST将以其完善的生产基础、高效的执行能力、对消费电子市场的深入了解，以及先进...

2018-01-17 标签：传感器 mems 8.3k 0

基于MEMS技术的芯片ADXL202 的应用设计与集成

本文阐述了一种基于MEMS 技术的芯片ADXL202 的应用设计与集成。介绍了ADXL202 的测试原理和主要参数设计原则,然后利用其集成了一种无线加速...

2018-01-17 标签：芯片 mems 2.2k 0

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本文提出了一种新型的三明治结构MEMS微波功率传感器结构，与传统传感器相比，新结构由于采用了垂直传热方式而具有较小的热损耗。在输入相同功率的情况下，模拟...

2018-01-17 标签：传感器 mems 微波 3.8k 0

基于数字式MEMS加速度传感器ADXL213的倾角测量应用

本文提出一种基于数字式MEMS（微电子机械系统）加速度传感器ADXL213的倾角测量装置，该装置采用占空比调制电路获得相应的数字信号。根据对实际运动模型...

2018-01-17 标签：传感器 mems 2.9k 0

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