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      微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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      射频MEMS开关技术的最新进展解析

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      由于MEMS开关是采用半导体制造工艺制成的，因此它们采用表面安装之类的封装技术能够实现极小的外形尺寸。采用已有的批量制造技术，并且积极改进工艺从而在产量...

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      分布式能源微网控制保护和能量管理解决方案

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      微网是指能实现自我控制、保护和管理的，自制的微型电网系统，其既可并入大电网运行，又能脱离大电网独立运行。微网的出现源于分布式新能源的发展和能源高效利用的...

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      利用MEMS扫描镜技术提高汽车安全性

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      2018-02-07 标签：传感器mems 8.2k 0

      量子传感器的概念与现状、性能分析以及市场应用

      子理论的创立是 20 世纪最辉煌的成就之一 ，它揭示了微观领域物质的结构 、性质和运动规律，把人们的视角从宏观领域引入到微观系统 。一系列区别于经典系统...

      2018-02-06 标签：mems交通量子传感器 1.3万 0

      日本开发一种监测系统 通过MEMS传感器和无线技术实现建筑物结构监测

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      基于MEMS的车载激光投影仪设计

      汽车内的显示和信息系统非常丰富，层出不穷地包围着我们，有些信息非常重要，有些则是为了舒适性或娱乐，有的则仅仅是提供资讯，这很有价值，但又非必需。

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      SiTime推出MEMS参考时钟支持新物联网应用所需的最佳尺寸、功耗和精度

      SiTime市场部执行副总裁Piyush Sevalia指出：“SiTime独到的时序产品致力于为最严峻挑战的设计提供解決方案。伴随着物联网的快速发展，...

      2018-02-02 标签：mems物联网sitime 6.9k 0

      SiTime推出新型振荡器 进一步向无人驾驶汽车的领域进军

      MEMS振荡器领域的行业龙头企业SiTime Corporation宣布面向高级驾驶辅助系统（ADAS）中的汽车网络应用方向推出新型振荡器。这些解决方案...

      2018-02-01 标签：振荡器memsadas 7.2k 0

      超小型MEMS原子钟诞生，用于智能手机、传感器网络和机器人控制系统

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      基于MEMS工艺实现简易快速地制备不同的微阵列结构

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      MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变 形，会影响其表面...

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