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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

一文带你详细了解传感器及其相关产业

本文来自公众号【信熹资本】，这是一篇整理的非常细致的传感器产业介绍内容，涵盖了传感器的相关概念、发展历史、分类方式、产业链和市场情况等信息。与其他笼统介...

2023-10-07 标签：传感器 mems 激光雷达 4.7k 0

为何汽车传感器需求增长能独立于汽车整体的需求呢？

无怪乎，全球最领先的电子元器件制造商之一——村田制作所早已开始布局MEMS传感器市场。2012年，村田以16亿元人民币的价格，大手笔收购了以MEMS技术...

2018-04-30 标签：MEMS 汽车传感器无人驾驶 4.6k 0

深度解析多传感器信息融合技术

　所谓多传感器信息融合（Multi-sensor Information Fusion，MSIF），就是利用计算机技术将来自多传感器或多源的信息和数据，...

2016-01-13 标签：MEMS 物联网 4.6k 0

MEMS热式质量燃气表的工作原理及设计

今天为大家介绍一项国家发明授权专利——一种装有多旁路测量装置的MEMS热式质量燃气表。该专利由辽宁思凯科技股份有限公司申请，并于2017年3月29日获得...

2018-09-06 标签：mems 燃气表 4.6k 0

MEMS技术在标准实时时钟（RTC）中的优势

本应用笔记探讨了MEMS（微机电系统）技术在标准实时时钟（RTC）中相对于标准晶体技术的优势。最明显的优势是尺寸。还讨论了MEMS技术优越的其他领域-C...

2021-05-13 标签：mems RTC 4.6k 0

采用远程监控传感器确保设备安全

许多技术可用于振动监测。只需在金属销周围缠绕弹簧即可创建低成本的阈值传感器。当受到振动时，弹簧接触销并关闭开关。另一方面，多轴MEMS运动传感器具有大带...

2019-02-28 标签：传感器 mems 监控 4.6k 0

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本视频是ADI公司MEMS陀螺仪和同类陀螺仪产品的对比演示，比较两者对错误输出激励的响应。可以看出，我们的结果新款陀螺仪具有高抗振动、抗冲击性和抗线性加...

2018-06-03 标签：adi mems 4.6k 0

新型微控制器系列的设计应用

随着8位和32位微控制器之间差距的缩小，设计人员在选择平台时会在MCU上找到新的灵活性。虽然8位MCU因成本敏感原因和中低复杂应用而存在，但32位MCU...

2019-03-27 标签：微控制器 mems 遥控器 4.5k 0

德州仪器DLP®技术具有哪些优势？

德州仪器DLP® 产品 - 发动显示技术创新

2018-08-13 标签：mems ti dlp 4.5k 0

SMI推出的MEMS低压传感器系列产品SM9541介绍

基于该芯片的特有的复合压力仪表产品可提供最佳的信号分辨率和诊断功能。14位分辨率和1%精度为用户带来高性能，每年0.2%的满量程漂移稳定性可为重要的保健...

2019-09-12 标签：mems 压力传感器 SMI 4.5k 0

IMU为嵌入式应用提供更精细的定位分辨率

全球导航卫星系统（GNSS）非常有用，能够定位全球任意位置已正确启用此功能的系统，但仅仅使用 GNSS 接收器进行定位也存在一些问题。使用惯性测量装...

2019-01-17 标签：嵌入式 mems gnss 4.5k 0

利用Tanner EDA工具进行MEMS设计和仿真学习

高速的光网络使世界各地的人们得以即时交流和分享想法。微小的MEMS光开关在这些数量庞大的光纤系统中发挥着重要作用。此类开关涉及机械、光学和电气三个领域，...

2018-05-29 标签：mems 传感技术 4.5k 0

MEMS超声波传感器的应用分析

增强现实/虚拟现实（AR/VR）系统正在各个领域得到日益广泛的应用，例如在娱乐、教育、医疗保健和其他工业应用中。借助这些技术，用户能够在虚拟空间中模...

2020-07-10 标签：mems 光学传感器超声波传感器 4.5k 0

探讨压电MEMS微执行器技术现在及发展趋势

压电MEMS通过单片即可实现微执行、能量收集、传感和无线通信，是应用潜力巨大的热点技术。

2018-08-30 标签：MEMS 执行器 4.5k 0

MEMS加速度传感器在电机健康状态监测上的应用

常见的加速度传感器主要有压电陶瓷加速度传感器、应变式加速度传感器、电容式加速度传感器和MEMS加速度传感器，传统的电机振动监测主要选用IEPE电压输出型...

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基于MEMS技术的RF开关在电路中的设计

RF开关用于从多个可用信号源中选择所需信号，或将信号路由到所需信道，如分集天线系统，雷达以及测试和测量设置等应用。开关（有时称为继电器）可以使用类似于非...

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MEMS传感器新的市场增长机遇在哪里

近日，意法半导体（ST）在上海召开媒体沟通会，ST模拟、MEMS及传感器事业部副总裁兼MEMS传感器产品部总经理Andera ONETTI表示，对于整个...

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思立微电子在MEMS超声技术上取得突破，在10MHz频点转换效率可达1.5%

日前，上海思立微电子在MEMS超声技术上历时两年的潜心研发，取得了突破性进展。其自主研发的超声换能器已通过系列性能测试，在10MHz频点转换效率可达1....

2018-09-30 标签：mems 换能器超声技术 4.4k 0

意法半导体LSM6DSV320X IMU传感器在Linux平台的驱动移植与姿态感知应用实现

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2025-12-11 标签：传感器 mems 意法半导体 4.4k 0

电磁MEMS基本原理-MEMS扫描微镜和MEMS开关

电磁驱动型扫描微镜是依据带电线圈产生的电磁场来驱动的。电磁微镜最明显的优势是仅在低电压低电流的驱动下就可以达到较大的微镜角度偏转，同时也具有偏转速度...

2023-01-29 标签：mems 电磁场微镜 4.4k 0

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