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硅片

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　硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑。

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本文主要讨论硅抛光片的主要技术指标、测试标准以及硅片主要机械加工参数的测量方法。硅片机械加工参数硅抛光片的主要技术指标和测试标准可以参照SEMI标准...

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