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湿法清洗过程中晶片旋转速度的影响

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引言 描述了溢流晶片清洗工艺中的流场。该信息被用于一项倡议,其主要目的是减少晶片清洗中的用水量。使用有限元数值技术计算速度场。大部分的水无助于晶片清洗。 介绍 清洗步骤占工厂中使用的ulaa纯水
2022-06-06 17:24:461044

使用脉动流清洗毯式和图案化晶片的工艺研究

表面和亚微米深沟槽的清洗在半导体制造中是一个巨大的挑战。在这项工作中,使用物理数值模拟研究了使用脉动流清洗毯式和图案化晶片。毯式晶片清洗工艺的初步结果与文献中的数值和实验结果吻合良好。毯式和图案化晶片的初步结果表明,振荡流清洗比稳定流清洗更有效,并且振荡流的最佳频率是沟槽尺寸的函数。
2022-06-07 15:51:37291

基板旋转洗过程中小结构的表面清洗

引言 小结构的清洗和冲洗是微电子和纳米电子制造中的重要过程。最新技术使用“单晶片旋转清洗”,将超纯水(UPW)引入到安装在旋转支架上的晶片上。这是一个复杂的过程,其降低水和能源使用的优化需要更好地理
2022-06-08 17:28:50865

使用清洗溶液实现蚀刻后残留物的完全去除

应用。该化学品提供了在单晶片工具应用的清洗过程中原位控制锡拉回或者甚至完全去除锡掩模的途径。这些化学品不含NH4OH或TMAH,因此非常方便用户使用。
2022-06-14 10:06:242210

旋转超声雾化液中新型处理GaAs表面湿法

,和(2)在热清洗后必须完全去除表面氧化层,和(3)必须提供光滑的表面。清洗过程采用旋转超声波雾化技术。首先,通过有机溶剂去除杂质;第二次NH4OH∶H2O 2∶H2O = 1∶1∶10的溶液和HCl∶H2O 2∶H2O = 1∶1∶20的溶液连续蚀刻非常薄的GaAs层,该步骤的目标是去除金属
2022-06-16 17:24:02793

湿法清洗中去除硅片表面的颗粒

用半导体制造中的清洗过程中使用的酸和碱溶液研究了硅片表面的颗粒去除。
2022-07-05 17:20:171683

不同的湿法晶片清洗技术方法

虽然听起来可能没有极紫外(EUV)光刻那么性感,但对于确保成功的前沿节点、先进半导体器件制造,湿法晶片清洗技术可能比EUV更重要,这是因为器件的可靠性和最终产品的产量都与晶片的清洁度直接相关,因为晶片要经过数百个图案化、蚀刻、沉积和互连工艺步骤。
2022-07-07 16:24:231578

晶片清洗技术

的实验和理论分析来建立晶片表面清洁技术。本文解释了金属和颗粒杂质在硅片表面的粘附机理,并提出了一些清洗方法。 介绍 LSI(大规模集成电路)集成密度的增加对硅片质量提出了更高的要求。更高质量的晶片意味着晶体精度、成形质量和
2022-07-11 15:55:451025

湿法刻蚀和清洗(Wet Etch and Cleaning)

湿法刻蚀是集成电路制造工艺最早采用的技术之一。虽然由于受其刻蚀的各向同性的限制,使得大部分的湿法刻蚀工艺被具有各向异性的干法刻蚀替代,但是它在尺寸较大的非关键层清洗中依然发挥着重要的作用。
2022-11-11 09:34:187250

什么是编码器呢?如何测量旋转量和旋转速度

为了快速,准确地控制这些设备,必须检测设备的运动状态。因此,使用称为编码器的传感器来检测旋转角度,移动距离和旋转/移动速度
2022-11-16 11:47:095290

电机的旋转速度为什么能够自由地改变?

感应式交流电机(以后简称为电机)的旋转速度近似地取决于电机的极数和频率。由电机的工作原理决定电机的极数是固定不变的。
2023-03-14 10:19:50486

氮化铝单晶的湿法化学蚀刻

清洗过程在半导体制造过程中,在技术上和经济上都起着重要的作用。超薄晶片表面必须实现无颗粒、无金属杂质、无有机、无水分、无天然氧化物、无表面微粗糙度、无充电、无氢。硅片表面的主要容器可分为颗粒、金属杂质和有机物三类。
2023-03-31 10:56:19314

晶片的酸基蚀刻:传质和动力学效应

抛光硅晶片是通过各种机械和化学工艺制备的。首先,硅单晶锭被切成圆盘(晶片),然后是一个称为拍打的扁平过程,包括使用磨料清洗晶片。通过蚀刻消除了以往成形过程中引起的机械损伤,蚀刻之后是各种单元操作,如抛光和清洗之前,它已经准备好为设备制造。
2023-05-16 10:03:00584

臭氧清洗系统的制备及其在硅晶片清洗中的应用

在半导体和太阳能电池制造过程中清洗晶圆的技术的提升是为了制造高质量产品。目前已经有多种湿法清洗晶圆的技术,如离子水清洗、超声波清洗、低压等离子和机械方法。由于湿法工艺一般需要使用含有有害化学物质的酸和碱溶液,会产生大量废水,因此存在废物处理成本和环境监管等问题。
2023-06-02 13:33:211021

助焊剂在焊接过程中需要清洗吗?

现在很多人在反应焊接过程出现很多焊渣,然而又不好清洗,不知道是不是产品本身的问题,助焊剂(膏)在焊接过程中一般并不能完全挥发,均会有残留物留于板上。对于该残留物是否需要清洗区除,需要根据所选助焊剂
2022-01-07 15:18:121181

工业清洗新格局:球磨机滑履瓦冷却水路水垢无腐蚀清洗,这种环保清洗技术靠谱

介绍了水泥磨的球磨机滑履冷却水循环系统的清洗,以及结垢原因的分析,对比了传统清洗工艺与福世蓝清洗工艺为何选用福世蓝清洗工艺,并图文描述其清洗过程
2022-06-06 18:12:22385

虹科案例 | 基于虹科EtherCAT接口卡和IO模块的晶圆清洗

WaferCleaner晶圆清洗机晶圆清洗是芯片生产过程中最繁琐的工序,其作用主要是去除晶圆表面包括细微颗粒、有机残留物和氧化层等在内的沾污。在芯片生产过程中,晶圆表面的沾污会严重影响到最终的芯片
2022-09-30 09:40:51620

锡膏厂家告诉你:焊锡丝免清洗是什么意思?

在以往电子工业的整个生产过程中,传统的焊接工艺往往存在残留量大、腐蚀性大、外观差等缺点。焊接后,需要用洗板水清洗。在清洗过程中,由于细间隙和高密度元器件的组装,会造成清洗困难,即增加清洗成本,浪费
2022-10-18 15:54:02955

电机的旋转速度为什么能够自由地改变(电机与变频器的关系)?

本文中所指的电机为感应式交流电机。感应电动机又称“异步电动机(asynchronousmotor)”,即转子置于旋转磁场中,在旋转磁场的作用下,获得一个转动力矩,因而转子转动。r/min电机旋转速度
2024-02-02 16:47:53121

超声波清洗四大件:清洗机、发生器、换能器、清洗

超声波清洗四大件:清洗机、发生器、换能器、清洗槽在超声波清洗过程中发挥着至关重要的作用。它们共同协作,将电能转换为超声波能,并通过清洗液的作用,实现对物品的高效、环保清洗
2024-03-06 10:21:2874

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