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基于四探针测量的 BiFeO₃畴壁欧姆响应研究

苏州埃利测量仪器有限公司 2025-11-20 18:03 次阅读
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导电畴壁(DWs)是新型电子器件的关键候选结构,但其纳米尺度与宿主材料高电阻特性导致电学表征困难。Xfilm 埃利四探针方阻仪可助力其电阻精确测量,本文以四探针测量技术为核心,采用亚微米级多点探针(MPP),实现 BiFeO₃(BFO)薄膜铁弹 / 铁电 71° 畴壁的无损、无光刻面内输运测量,并给出了其电阻率的首次四探针测量值

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使用继电器选择有效探针,测量四个不同探针间距下的电阻

四探针测量:采用IVVI配置(外端针尖通电流、内端针尖测电压),即外侧两个探针(如#1和#4)强制通过电流I_test,内侧两个探针(如#2和#3)则通过源测量单元强制零电流模式,精确测量其电势差ΔU。本征四探针电阻计算为R_4P = ΔU / I_test,有效排除了接触电阻的影响。

二探针测量:在两个探针间施加测试电压U_test,并测量电流I,电阻计算为R_2P = U_test / I。此结果包含所有串联的接触电阻与势垒效应。

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BiFeO₃薄膜样品制备与表征

/Xfilm


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两个具有长条纹铁电/铁弹畴的 BFO 薄膜样品(S1 和 S2)的扫描探针显微镜图像

两个BiFeO₃薄膜样品(S1与S2)通过脉冲激光沉积在(001)取向的SrTiO₃衬底上生长,名义厚度为55 nm。为确保面内测量时畴壁不被短路,样品底部沉积了两个晶胞厚度的绝缘性SrRuO₃缓冲层。压电力显微镜表征显示,样品具有长条状的71°畴壁结构,主要沿衬底的[010]方向排列。

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四探针测量的优势验证

/Xfilm


通过对比二点与四探针测量结果,本研究清晰地展示了四探针法的优越性。在一个典型测量中(图3c),计算得到R_2P4 = 13.89 GΩ,而R_4P = 614.02 MΩ。即使将R_2P4根据测量距离进行归一化,其值(4.63 GΩ)仍是R_4P的近8倍。这一巨大差异直观地揭示了PtIr/BFO界面存在的巨大接触电阻,凸显了四探针法提取本征电阻的必要性。

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畴壁的欧姆行为与统计测量

/Xfilm


在样品S1和S2上沿畴壁方向进行的多个四探针电流扫描表明,在电流大于约100 pA后,电压-电流关系呈现良好的线性特征。通过对高电流区数据进行线性拟合,直接从斜率中提取出R_4P。例如,在S1样品的一个位置,拟合得到R = 453 MΩ,偏移电压U_off = 0.24 V;而在另一位置,R = 842 MΩ,U_off = 0.16 V。这些接近于零的偏移电压与线性的I-V关系,共同证实了畴壁在该电流区间的欧姆传导特性

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单畴壁电阻率的提取

/Xfilm


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沿主畴壁方向测量的S1 上 20 个任意样品位置的单次电流扫描,通过线性拟合提取电阻值的直方图

为获得单畴壁的电阻率,在具有高度有序畴结构的S1样品上进行了20个不同位置的统计测量。电阻值呈现双峰分布,形成两个主要集群。将其归因于探针同时接触单个畴壁或两个并联畴壁的情形。基于单畴壁情况下的电阻值803 MΩ,并假设畴壁长度为600 nm(内探针间距),畴壁有效高度为77.8 nm(考虑45°倾斜角),计算得到畴壁的方块电阻R_s = 104 MΩ/□。进一步假设典型铁电畴壁宽度为1-10 nm,最终得出畴壁的本征体电阻率为0.07 – 0.7 Ω·m

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各向异性与距离标度律

/Xfilm


通过单次探针着陆下的变间距测量,研究了电阻随探针距离的变化规律。当测量方向沿畴壁时,电阻与距离呈线性关系,斜率为0.925 GΩ/μm,再次支持了欧姆传导模型。当测量方向垂直于畴壁时,斜率增至3.31 GΩ/μm,约为沿畴壁方向的3.6倍。这一显著的各向异性 强有力地证明了电流传导主要由畴壁网络主导,而非体相或表面泄漏,同时也排除了底界面导电的可能性。

本研究将亚微米共线四探针技术应用于铁电畴壁的本征电输运测量,成功揭示了BiFeO₃中71°畴壁在高电流下的欧姆特性,通过四探针的IVVI 配置,排除引线与接触电阻干扰,首次获得单个畴壁的共线四探针电阻率(0.07-0.7Ω・m),证实大电流区域(≥100pA)的欧姆行为,为畴壁导电机制研究与器件应用提供关键数据支撑。该技术适用于各类高阻、非均匀、各向异性功能材料中纳米尺度导电网络的电学表征。

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Xfilm埃利四探针方阻仪

/Xfilm


Xfilm埃利四探针方阻仪用于测量薄层电阻(方阻)或电导,可以对样品进行快速、自动的扫描,获得样品不同位置的方阻/电阻率分布信息。

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超高测量范围,测量1mΩ~100MΩ

高精密测量,动态重复性可达0.2%

全自动多点扫描,多种预设方案亦可自定义调节

快速材料表征,可自动执行校正因子计算

基于四探针法Xfilm埃利四探针方阻仪,凭借智能化与高精度电阻测量优势,助力评估电子器件材料的电阻特性,推动多领域的材料检测技术升级。

#四探针#电阻测量#方阻测量#表面电阻测量#电导率测量

原文参考:《Ohmic Response in BiFeO3 Domain Walls by Submicron-Scale Four-Point Probe ResistanceMeasurements》

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