薄膜测厚选台阶仪还是椭偏仪？针对不同厚度范围提供技术选型指南

在现代工业与科研中，薄膜厚度是决定材料腐蚀性能、半导体器件特性以及光学与电学性质的关键参数。精准测量此参数对于工艺优化、功能材料理解及反向工程都至关重要。

其中，台阶仪通过直接测量薄膜与暴露基底之间的物理高度差，为实现厚膜层的简单、直接测量提供了经典方案。而光谱椭偏仪则利用光与薄膜相互作用的偏振态变化，兼具非破坏性、快速测量与提取材料光学常数的优势，成为表征透明与半透明薄膜层状体系的重要光学技术。

因此，针对不同的材料特性和测量需求，选择合适的技术至关重要。在「费曼仪器FlexFilm」，我们提供精准的膜厚测试，一站式解决您的薄膜材料表征需求，助力研发创新与品质把控。

综上所述，薄膜厚度的测量并无一种万能的技术，而是需要根据薄膜的厚度范围、光学特性、基底条件以及对样品破坏性的容忍度等因素来综合选择。台阶仪提供了一种直接、可靠的物理高度测量方法，尤其适用于具有台阶结构的样品。而椭偏仪则能提供非接触、无损且富含光学特性的测量，对于透明、半透明薄膜的多层结构分析表现出色。实际应用中，需根据样品的具体条件和测量需求来为特定的材料或应用寻找厚度测量解决方案。

Flexfilm探针式台阶仪

flexfilm

在半导体、光伏、LED、MEMS器件、材料等领域，表面台阶高度、膜厚的准确测量具有十分重要的价值，尤其是台阶高度是一个重要的参数，对各种薄膜台阶参数的精确、快速测定和控制，是保证材料质量、提高生产效率的重要手段。

• 配备500W像素高分辨率彩色摄像机
• 亚埃级分辨率，台阶高度重复性1nm
• 360°旋转θ平台结合Z轴升降平台
• 超微力恒力传感器保证无接触损伤精准测量

费曼仪器作为国内领先的薄膜厚度测量技术解决方案提供商，Flexfilm探针式台阶仪可以对薄膜表面台阶高度、膜厚进行准确测量，保证材料质量、提高生产效率。

原文参考：《COVALENT ACADEMY Industrial Applications of Advanced Metrology Episode 42》

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