半导体制造设备防震基座Foundation分类-江苏泊苏系统集成有效公司

防震基座Foundation分类

从「被动防御」到「主动降维打击」
Foundation工程主要在于提供机台稳定之支撑，同时具备制震及震动隔离之目的。

1. 功能型分类

· 主动式防震基座 ：通过高灵敏度传感器+中央控制器实时抵消震波（如气浮或电磁驱动），隔振效率可达95%。

· 高刚性基座 ：采用钢构或RC结构，以“硬碰硬”方式抵御低频振动，适用于重型设备。

· RC阻尼式基座 ：在混凝土中嵌入阻尼材料（如铅芯橡胶），兼具刚性与能量耗散能力。

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2. 工法分类

· 独立脚柱（大象脚） ：单点支撑+隔振垫，适合空间受限场景。

· 钢构式基座 ：模块化设计，精度可达±0.5mm，适配高架地板系统。

· RC板式基座 ：超长无缝设计，避免温度应力开裂，厚度≥200mm。

防震基座Foundation工程范围

从「毫米级定位」到「全生命周期管理」
● 设计阶段 ：需综合设备重量（如光刻机5吨级）、振动频谱（4-100Hz敏感区）及地质条件（如防液化处理）。
● 施工阶段 ：洁净室环境下，采用非焊接组装（防尘）、AB胶固化（12小时监测）及微米级调平（激光定位±0.1mm）。
● 运维阶段 ：振动传感器实时监测+年检制度，确保隔振效能不衰减。

防震基座Foundation施工流程