鱼与熊掌亦可兼得，揭秘国奥科技电机效率与良率并存背后的真相

封测行业是我国半导体产业链中发展最为成熟的一环，但我国半导体封测设备国产化极低，据MIR DATABANK公布数据显示，2021年我国封测设备的综合国产化率仅为10％。

目前国产半导体设备主要还是处在中低端市场领域，要想打入高端市场，实现高端电机国产化是首要环节。

近年，国奥科技深入了解国内装备制造行业需求，从研发，到制造，再到市场开拓，全力打磨“高端电机”利剑，自主研发的“二自由度直线旋转电机”，成功解决了两种不同种类的电机整合于同一个系统中所带来的电磁干扰与耦合问题。

Z+R双轴集成设计

“ZR”双轴集成，极大地简化了自动化设备结构，同时满足了高精密加工环节对多轴、多维自由度复杂控制的精度要求。

尤其是在大量短行程、低负载、高精度运动的工作场景中，国奥科技“直线旋转电机”在软着陆、高精力控、高精定位上较其他电机优势更明显，已逐步成为国内高精密自动化设备的核心部件。

国奥科技直线旋转电机应用在固晶机、贴片机等半导体设备上，在对晶圆等昂贵易碎部件拾取、搬运、贴合过程中可实现柔性高效、高质作业，能有效减少损耗、提高产品良率，为厂商实现降本增效。

1电机系列产品

国奥科技及时响应客户和市场需求，不断加强技术研发，迭代电机产品，为客户提供多款产品及技术方案，竭力解决行业“痛点”。

国奥科技现有以下系列产品：

LRS系列分体式直线旋转电机、LAA系列直线音圈电机、RL系列低压双轴伺服驱动器，除此之外，国奥科技将继续加大LRC系列一体式直线旋转电机项目的技术研发。

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2电机技术优势

“多重技术优势”深度赋能半导体设备实现“效率”与“良率”并存，是国奥科技电机赢取市场认可和半导体设备厂商青睐的关键。

可编程高精力控，“软着陆”降低损耗

国奥科技直线旋转电机带有“软着陆”功能，可实现±1g以内的稳定力度控制，支持速度、加速度及力度控制的程序化设定，使贴装头能够以非常精准的压力触碰芯片表面，降低损耗。

“软着陆”降低易碎元器件损耗

采用中空Z轴设计，预留气管接口，真空吸取、即插即用，并可根据元件结构及特性提供定制化服务。

微米级高精度重复定位，保证良率

微米级位置反馈，获取精准数据，±0.01N力控精度，±2μm直线重复定位精度，±0.01°旋转重复定位精度，径向偏摆小于10μm，编码器分辨率标准1μm，可在高速运行状态下仍稳定输出，提升良率及可靠性。

“Z+R”双轴集成，简化结构，维护简单

创新性的双轴集成化解决方案，将传统“伺服马达+滚珠丝杆”合二为一，解决了Z轴自重负载问题，高速、精准完成元件Pick & Place，贴装等动作，推力曲线平滑，峰值推力8-50N，有效行程10-50mm ，超高循环寿命，实现高效生产。

ZR双轴集成，化繁为简

体积轻薄，可多电机组合排列，提升速度

直线旋转电机LRS2015重量仅605g，轻巧的机身重量大大减轻了设备高速运动中负载带来的影响。

电机厚度仅为20mm，在设备有限的内部空间中可以并排安装多组电机，减少芯片贴装往复运动过程，提升设备贴装效率。

机身轻薄，可多电机矩阵排列作业

3电机多场景应用

国奥科技“直线旋转电机”、“直线电机”已被广泛应用到集成电路先进封装、图像传感器及光学组件封装、显示及光电产品制造、3C产品组装及测试等领域。

集成电路先进封装

随着 5G 通信、人工智能、元宇宙技术发展，终端应用产品小型化、智能化、多功能化发展趋势加剧，半导体封装高度集成化。

固晶时晶圆转移

以先进晶圆封装为例，单个元件体积缩小，固晶、贴装过程需要更精准的对位及取放压力，国奥科技电机提供更柔性、更高精度力控的贴装方案。

图像传感器及光学组件封装

手机、电脑等摄像头模组虽小，但由镜头、传感器、图像处理芯片、对焦马达、滤光片、 FPC/PCB等多个元器件高度集成。在COB制程生产线上，SMT（表面贴装）使用高速贴片机贴片时吸嘴直接接触传感器芯片，力控精度要求极高。

国奥科技电机除了符合COB裸片封装的力控精度外，在组合过程中还能精准定位各元器件位置，完全可以避免位置偏移或重叠从而影响摄像头模组成像性能的问题。

显示及光电产品制造

Mini LED是芯片尺寸介于50~200μm之间的LED显示器件，为了LED显示屏获得更理想的光色，每张Mini LED线路板上高度集成数千个芯片、上万个焊点，间距缩小到（100~300 μm）。

国奥科技电机“软着陆”功能，能高效完成将 LED 裸芯片贴装在PCB板上进行引线键合，并确保贴片位置精度，柔性作业减少裸芯片的损耗。

3C产品组装及测试

国奥科技电机内置集成光栅、平衡弹簧，采用开环控制，可瞬时读取、分析并反馈力度、位置数据后做调整。

手机触屏性能测试

在3C消费电子制造行业中，国奥科技电机除了可搭配各种机械手对电子元器件进行高效组装外，由于其高速度、高精度力控输出特性，在多功能开关、音量按键、电脑键盘、触控面板（手表、手机、平板、电脑、电视）等耐久性、灵敏度测试中应用也非常广泛。

审核编辑 黄昊宇