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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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2009年MEMS惯性传感器现状及2010年趋势 MEMS技术最早由Richard Pfeynman(1965年获得诺贝尔物理奖),在1959年提出...
SensorDynamics推出新款采用微型QFN40封装的
SensorDynamics推出新款采用微型QFN40封装的新型MEMS陀螺仪:SD70X SensorDynamics新推出用于高端工业、医疗和消费...
“MEMS的应用与机遇”研讨会探索MEMS广阔市场 MEMS是多学科交叉融合的前沿技术,是未来的主导产业之一。MEMS以其微型化的优势,在消费电子、...
ST推出MEMS加速计产品 意法半导体发布新系列三轴数字加速计的产品细节。新产品拥有市场上最小的占板面积、大幅降低的电流消耗和增强的功能。 意法半导体在
ST推出MEMS数字罗盘模块 意法半导体在单一模块内集成一个3轴数字加速计和一个3轴数字磁感应计,这款数字罗盘模块兼备高精度、小尺寸、低功耗、具有竞争力的价格
市场分析:MEMS封装朝向晶圆级发展 传统的MEMS长期依赖陶瓷封装,虽然行之有效,但MEMS产业已经酝酿向晶圆级封装(WLP)技术转变,而这一转变的...
用于供电无线感应器节点MEMS设备研制成功 Holst Centre,一家专注为无线自治传感器方案开发共用性技术的研发机构,已经开发一套新能量收集应...
2009-12-28 标签:MEMS 662 0
基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计 硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支,具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高
ST创新的MEMS麦克风 意法半导体(ST)扩大产品阵容,推出新一代微加工音响器件:创新的MEMS麦克风。新产品采用欧姆龙3的传感器技术,针对手机以及...
释放MEMS机械结构的干法刻蚀技术 湿法刻蚀是MEMS 器件去除牺牲材料的传统工艺,总部位于苏格兰的Point 35 Microstructure...
MEMS的应用 MEMS 技术的应用范围广泛[24~28 ] ,MEMS 技术是一种典型的多学科交叉的前沿研究领域, 几乎涉及到自然科学及工程技术的所有领
2009-03-17 标签:MEMS 2k 1
MEMS快门预示着显示技术的更大改进 一种由Uni-Pixel显示技术公司开发的时序多工光学快门技术,将有望实现比TFT LCD更亮、更薄、更便宜的显...
2008-11-26 标签:MEMS 886 0
祥解MEMS的前世今生,商用化缓慢然而前景广阔 微机电系统(MEMS)在1954年由贝尔实验室的Charles Smith通过硅的压阻效应发明,在不到...
2008-10-24 标签:MEMS 903 0
从全局考虑MEMS集成 在将微电子机械系统(MEMS)集成进更大的电子系统时工程师必须进行全局考虑,但是目前工程师所面临的问题是:如何划分和封装系统?...
2008-09-22 标签:MEMS 596 1
制造商正在不断完善手持式装置,提供体积更小而功能更多的产品。但矛盾之处在于,随着技术的改进,价格往往也会出现飙升,所以这就导致一个问题:制造商不得不...
2006-03-13 标签:MEMS 481 0
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