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      微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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      基于PZT材料的MEMS微执行器的几种技术解析

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      2024-02-13 标签：mems麦克风接口 4.1k 0

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      使用MEMS振荡器代替晶体谐振器的 8 大理由（三）

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      2021-11-04 标签：pcb振荡器mems 4.1k 0

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      如何使用压力传感器解决物联网设计的精度问题

      压力传感器广泛应用于物联网应用，例如无人机和工业自动化。但是，设计人员始终面临挑战，必须不断改进设备的精度、分辨率、抗噪能力和温度稳定性，同时降低成本，...

      2019-03-19 标签：传感器mems物联网 4.1k 0

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      2018-11-23 标签：传感器MEMS 4.1k 0

      如何推导电容式MEMS加速度计中使用的传递函数

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      在本文中，我们将了解如何推导电容式 MEMS 加速度计中使用的质量-弹簧-阻尼系统的传递函数。

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      2017-01-17 标签：机器人汽车电子mems 4k 0

      面向条件监测的MEMS加速度计产品演示

      这款最新类型的MEMS加速度计具有低噪声、高工作频率性能，针对条件监测可实现全新的产品设计。MEMS加速度计采用单电源工作，具有稳定的灵敏度、抗冲击、低...

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