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电子发烧友网>今日头条>300毫米直径硅片的快速热处理实验研究

300毫米直径硅片的快速热处理实验研究

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2009-12-21 15:40:1015

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  模具热处理变形及预防   模具热处理变形是模具处理过程的主要缺陷之一,对一些精密复杂模具,常因热处理变形而报废,因此控制精密复杂模具的变形一直成为热处
2010-10-29 16:51:221062

快速热处理温度控制器的设计

传统的热处理方法是将很多硅片垂直排列在石英舟上/ 放进电阻炉加热/ 这种技术很难避免基片变形由于石英舟和众多的硅片热容量较大/ 需要长的升温和降温时间/ 这种方法热存积即温
2011-04-02 18:04:1189

超大规模集成电路快速热处理技术

本文介绍了快速热处理技术的研究成果包括: R H T 设备, 高剂量注入硅的R T A 机理与最佳R T A 条件选择, 以及浅P N 结制造,硅化物形成, BP SG 回流和薄氧化层的快速氮化等R T P技术.
2011-10-28 17:25:2842

高压给水器焊后热处理#焊后热处理

焊后热处理
bcyk001发布于 2023-09-28 15:58:49

电机定_转子冲片模具热处理参数研究

电机定_转子冲片模具热处理参数研究_胡彬
2017-01-01 16:24:030

热处理的定义与激光热处理原理

热处理是指通过加热于金属材料,以多种方式改变金属材料的组织或性质的方法。尽管激光热处理技术在诱导表面组织的变化方面类似于现有的高频热处理(感应淬火,Induction Hardening)方法
2017-09-13 18:50:0216

硬度检测三种方法的介绍(化学热处理等)

硬度检测一般用一下三种方法:局部热处理、表面淬火回火热处理和表面热处理化学热处理 局部热处理 零件如果局部硬度要求较高,可用感应加热等方式进行局部淬火热处理,这样的零件通常要在图纸上标出局部淬火热处理
2017-09-28 19:14:219

硅片制造商——上海新昇

为了解决“卡脖子”的300毫米硅片国产化问题,“十二五”期间国家科技部拿出一笔经费,向全国5个有能力的团队发出邀请书。
2017-10-10 11:34:4617381

RTP系统简介与快速热处理法制备单晶硅太阳能电池

利 用快速热处理 (RapidThermalProcessing,RTP)技术 ,成功 制备 了单晶硅太 阳 电池 。在三个重要的热处理环节 (磷扩散制作 PN结 、热氧化 、电极烧结 )采用
2017-11-07 09:52:0216

晶圆制造基础原材料硅片相关探讨

世界头两名集成电路用硅片制造商都集中于日本,信越(Shin-Etsu)和SUMCO,占全球60以上%;这两家企业生产的大尺寸硅片(200毫米300毫米)则占全球的70%以上,形成绝对垄断和极高
2018-08-24 16:43:418880

中环领先大直径硅片项目迎来最新进展 8英寸硅片生产车间实现试生产

作为宜兴市打造集成电路产业链、构建现代产业体系的重要一环,中环领先大直径硅片项目迎来最新进展。
2019-08-30 16:40:586139

热处理到底是什么鬼淬火

热处理到底是什么鬼之淬火 金属热处理是机械制造中的重要工艺之一,与其他加工工艺相比,热处理一般不改变工件的形状和整体的化学成分,而是通过改变工件内部的显微组织,或改变工件表面的化学成分,赋予或改善
2020-05-15 10:26:141530

硅片自旋转磨削法的加工原理和工艺特点的介绍

摘要:随着IC技术的进步,集成电路芯片不断向高集成化、高密度化及高性能化方向发展。传统的硅片制造技术主要适应小直径( ̄<200 mm)硅片的生产;随着大直径硅片的应用,硅片的超精密磨削得到广泛
2020-12-29 11:37:412956

300mm直径硅片湿洗槽出水口设计

实验和数值研究了间歇式300mm直径硅片湿法清洗槽出口对水运动的影响,以快速去除槽中的污染物。设计并评估了由靠近水槽侧壁顶部边缘的针孔阵列组成的出口以及普通溢流出口。实验表明,在同时具有OF-出口
2022-03-04 15:06:01250

晶圆尺寸从300毫米过渡到450毫米的技术挑战

随着技术复杂性在亚20nm节点上的加速,半导体制造成本已经快速增加,晶圆尺寸从300毫米过渡到450毫米将是解决这一问题的方法之一,平均而言,采用300毫米晶圆的成本比之前的200毫米晶圆降低了30
2022-05-26 16:28:32898

金属热处理知识分享PPT

小编今天给大家分享一组PPT,算是把金属热处理讲透了!热处理定义:是将固态金属或合金在一定介质中加热、保温和冷却,以改变其整体或表面组织结构,从而获得所需性能的工艺方法。
2022-11-30 14:55:45612

无线炉温跟踪仪在热处理炉中的应用和优势

热处理炉无线炉温跟踪仪在实际的温度观测上更有安全应用价值,在不同的温度上也同样发挥着不可忽视的作用,还有多种测量的效果。优越的隔热性能使测试系统在恶劣热环境中进行温度测试,和产品一起通过热处理
2022-01-18 15:07:47621

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