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电子发烧友网>今日头条>关于氮化镓的晶体学湿式化学蚀刻的研究

关于氮化镓的晶体学湿式化学蚀刻的研究

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2023-06-09 10:30:45

载体晶圆对蚀刻速率、选择性、形貌的影响

等离子体蚀刻氮化镓器件制造的一个必要步骤,然而,载体材料的选择可能会实质上改变蚀刻特性。在小型单个芯片上制造氮化镓(GaN)设备,通常会导致晶圆的成本上升。在本研究中,英思特通过铝基和硅基载流子来研究蚀刻过程中蚀刻速率、选择性、形貌和表面钝化的影响。
2023-05-30 15:19:54452

浅谈蚀刻工艺开发的三个阶段

纳米片工艺流程中最关键的蚀刻步骤包括虚拟栅极蚀刻、各向异性柱蚀刻、各向同性间隔蚀刻和通道释放步骤。通过硅和 SiGe 交替层的剖面蚀刻是各向异性的,并使用氟化化学。优化内部间隔蚀刻(压痕)和通道释放步骤,以极低的硅损失去除 SiGe。
2023-05-30 15:14:111071

氮化镓在射频领域的优势盘点

氮化镓是一种二元III/V族直接带隙半导体晶体,也是一般照明LED和蓝光播放器最常使用的材料。另外,氮化镓还被用于射频放大器和功率电子器件。氮化镓是非常坚硬的材料;其原子的化学键是高度离子化的氮化化学键,该化学键产生的能隙达到3.4 电子伏特。
2023-05-26 10:10:41758

MXene范德华接触在氮化镓高电子迁移率晶体管中的应用

摘要:栅极控制能力是决定氮化镓高电子迁移率晶体管性能的关键因素。然而在金属-氮化镓界面,金属和半导体的直接接触会导致界面缺陷和固定电荷,这会降低氮化镓高电子迁移率晶体管栅控能力。在本项研究中,二维
2023-05-25 16:11:29599

湿式化学蚀刻法制备硅片微孔

微孔利用光和物质的相互作用来获得独特的性质,特别是,当用紫外光、可见光或近红外光在其表面等离子体极化频率附近照射时,金属微孔结构表现出强烈的共振。然而,用于制造微孔的技术是耗时的,并且需要昂贵的设备和专业人员。因此,英思特开发了一种通过湿化学蚀刻硅衬底来制造微孔的方法。
2023-05-25 13:47:51846

如何在蚀刻工艺中实施控制?

蚀刻可能是湿制程阶段最复杂的工艺,因为有很多因素会影响蚀刻速率。如果不保持这些因素的稳定,蚀刻率就会变化,因而影响产品质量。如果希望利用一种自动化方法来维护蚀刻化学,以下是你需要理解的基本概念。
2023-05-19 10:27:31575

硅晶片的酸基蚀刻:传质和动力学效应

抛光硅晶片是通过各种机械和化学工艺制备的。首先,硅单晶锭被切成圆盘(晶片),然后是一个称为拍打的扁平过程,包括使用磨料清洗晶片。通过蚀刻消除了以往成形过程中引起的机械损伤,蚀刻之后是各种单元操作,如抛光和清洗之前,它已经准备好为设备制造。
2023-05-16 10:03:00584

第一个木制晶体管问世,主频1Hz!

前不久,来自瑞典的研究人员就设计并测试了第一个木制晶体管。团队发表了一篇题为“木材电化学晶体管中的电流调制”的论文,讨论了他们最近开发的木材电化学晶体管 (WECT) 的创造、能力和潜力。
2023-05-04 10:16:23194

氮化镓(GaN)的晶体结构与性质

到目前为止我们已知的GaN有三种晶体结构,它们分别为纤锌矿(Wurtzite)、闪锌矿(Zincblende)和岩盐矿(Rocksalt)。通常的情况下纤锌矿是最稳定的结构。目前学术上在薄膜的外延
2023-04-29 16:41:0012093

《炬丰科技-半导体工艺》单晶的湿法蚀刻和红外吸收

书籍:《炬丰科技-半导体工艺》 文章:单晶的湿法蚀刻和红外吸收 编号:JFKJ-21-206 作者:炬丰科技 摘要 采用湿法腐蚀、x射线衍射和红外吸收等方法研究了物理气相色谱法生长AlN单晶的缺陷
2023-04-23 11:15:00118

飞秒激光辅助制造石英晶体MEMS谐振器

提出了一种利用飞秒激光诱导化学蚀刻(FLICE)制造压电致动的石英晶体MEMS谐振器的方法。
2023-04-20 09:10:46878

氮化的好处#硬声创作季 #pcb设计 #电路设计 #电子制作 #产品方案 #机器人

氮化
深圳爱美雅电子有限公司发布于 2023-04-17 14:41:27

利用有机电化学晶体管放大微弱的生物化学信号

人体内的生物化学信号通常非常微弱,很难直接进行检测和分析。据麦姆斯咨询报道,美国西北大学(Northwestern University)的研究人员基于有机电化学晶体管开发了一种新方法
2023-04-15 09:38:241267

NPT2020 硅基氮化晶体

NPT2020PT2020 是一款 48 V 硅基氮化晶体管,工作频率为 DC 至 3.5 GHz,功率为 50 W,增益为 17 dB。它采用陶瓷封装,面向军事和大批量商业市场。 
2023-04-14 15:39:35

光子晶体用硅中圆柱形纳米孔的深反应离子蚀刻

反应离子蚀刻 (RIE)是一种干法蚀刻工艺,与半导体工业中使用的互补金属氧化物半导体(CMOS)方法兼容。
2023-04-14 14:26:161253

干法蚀刻与湿法蚀刻-差异和应用

干法蚀刻与湿法蚀刻之间的争论是微电子制造商在项目开始时必须解决的首要问题之一。必须考虑许多因素来决定应在晶圆上使用哪种类型的蚀刻剂来制作电子芯片,是液体(湿法蚀刻)还是气体(干法蚀刻
2023-04-12 14:54:331004

65W氮化快充方案 #从入门到精通,一起讲透元器件! #硬声创作季

氮化快充
深圳爱美雅电子有限公司发布于 2023-04-11 16:36:50

氮化铝单晶的湿法化学蚀刻

清洗过程在半导体制造过程中,在技术上和经济上都起着重要的作用。超薄晶片表面必须实现无颗粒、无金属杂质、无有机、无水分、无天然氧化物、无表面微粗糙度、无充电、无氢。硅片表面的主要容器可分为颗粒、金属杂质和有机物三类。
2023-03-31 10:56:19314

PCB加工的蚀刻工艺

印刷线路板从光板到显出线路图形的过程是一个比较复杂的物理和化学反应的过程,本文就对其最后的一步--蚀刻进行解析。目前,印刷电路板(PCB)加工的典型工艺采用"图形电镀法"。即先在
2023-03-29 10:04:07886

SW1106集成氮化直驱的高频准谐振模式反激控制器

,可直接用于驱动氮化功率管;芯片工作于带谷底锁定功能的谷底开启模式,同时集成频率抖动功能以优化 EMI 性能;当负载降低时,芯片从 PFM 模式切换至 BURST 模式工作以优化轻载效率,空载待机功耗
2023-03-28 10:31:57

集成氮化直驱的高频准谐振模式反激控制器

电压,可直接用于驱动氮化功率管;芯片工作于带谷底锁定功能的谷底开启模式,同时集成频率抖动功能以优化 EMI 性能;当负载降低时,芯片从 PFM 模式切换至 BURST 模式工作以优化轻载效率,空载待机
2023-03-28 10:24:46

调温调湿箱的特点介绍

调温调湿箱全名“恒温恒湿试验箱”是航空、汽车、家电、科研等领域必备的测试设备,用于测试和确定电工、电子及其他产品及材料进行高温、低温、湿热度或恒定试验的温度环境变化后的参数及性能,它主要用于根据试验
2023-03-28 09:02:36

使用 ClF 3 H 2远程等离子体在氧化硅上选择性蚀刻氮化

在湿蚀刻的情况下,随着SiNx/SiOy层的厚度减小,剩余的SiOy层由于表面张力而坍塌,蚀刻溶液对孔的渗透变得更具挑战性。
2023-03-27 10:17:49402

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