高压放大器基于MEMS传感器应用的说明

现如今，科技发展的脚步快到你难以想象，世界已然迈入了电子信息化时代，无论是在工业应用领域还是消费应用当中，嵌入式都是未来电子应用领域发展的大势所趋。提到这一领域，想必大家对MEMS传感器技术都不陌生，Aigtek今天想给各位工程师们科普的主角就是它，一起接着往下看吧~

什么是MEMS传感器

MEMS是Micro Electro Mechanical System的缩写，简称微机电系统，是按功能要求在芯片上把微电路和微机械集成于一体的系统。MEMS基于光刻、腐蚀等传统半导体技术，融入超精密机械加工，并结合力学、化学、光学等学科知识和技术基础，使得一个毫米或微米级的MEMS具备精确而完整的机械、化学、光学等特性结构。高压放大器常被应用在MEMS领域。

MEMS传感器及局部显微放大

MEMS传感器工作原理

MEMS产品主要可以分为MEMS传感器和MEMS执行器，其中传感器是用于探测和检测物理、化学、生物等现象和信号的器件，而执行器是用于实现机械运动、力和扭矩等行为的器件。

MEMS传感器分类

MEMS传感器的应用

MEMS传感器的应用领域很广泛，是获取信息和实现交互的关键器件，它有效的推动了机械系统的微型化，目前MEMS传感器与高压放大器配合已应用于汽车电子、消费电子、航空航天、生物医学、工业等众多领域。

应用案例：MEMS光栅应用测试

MEMS光栅是一种运用硅微加工工艺技术，在外力作用下使光栅的某些特征参数（如周期、光栅等常数）发生改变，从而实时改变光栅的工作性能，实现光栅的可编程应用。但在实际工作时需要增大驱动电压，驱动电压甚至达到上百伏，因此想要保证MEMS光栅工作性能可靠，性能优越的驱动放大器是关键。

作为国内测试仪器的民族品牌，Aigtek安泰电子始终走在领域前沿，旗下自主研发生产的ATA-2000系列高压放大器拥有DC-1MHz的带宽，200Vpp~1600Vpp的输出电压范围，40mA~500mA的电流输出能力，是新型MEMS相关应用的动态驱动研发测试的理想选择。

同时该系列功率放大器，可输出理想的单端及差分信号，并设计了良好的过压，过流，短路保护装置，同时为了更好的为MEMS测试客户应用，提供的完善的阻抗匹配网络，方便用户选择对应的匹配阻抗。

ATA-2000系列高压放大器的增益数控可调，通过0.1的步进对于信号进行精准放大，方便用户调试。同时具有100:1的信号监控口，方便用户实时观测输出波形的变化。采用液晶显示，操作简单易懂。

相信在不久的将来MEMS传感器技术将会更加多的融入我们的日常生活，为我们的世界带来不一样的改变，Aigtek安泰电子也将用最精良的仪器，助力MEMS传感器测试技术的发展，未来可期！

通过上述介绍，相信您对于MEMS传感器相关知识已有了清晰的了解，更多精彩内容请持续关注安泰电子。

审核编辑：符乾江