中空式二维压电偏摆台的特点及参数

S54系列是具有中心通孔，二维θxθy轴方向运动的压电偏摆台，内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化，使其角度偏移小，响应速度快。采用压电陶瓷驱动实现偏转范围达±1mrad，分辨率可达0.05μrad，可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S.的重复定位精度。

S54的台体非常薄，厚度仅为20mm，80×80mm的中心通孔使其非常适用于亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用。

特点

• θx、θy偏摆运动

• 开环/闭环可供选择

• 80×80mm通孔

• 分辨率高

• 适于加速度/角速度传感器标定

电压位移曲线

应用

S54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用于激光合束等应用。

技术参数

型号：S54.T2

运动自由度：θx、θy

偏摆角度（0~120V）：±0.8mrad/轴（≈±165”）

偏摆角度（0~150V）：±1mrad/轴（≈±200”）

闭环传感器：SGS

闭/开环分辨率：0.25μrad（≈0.05”）/0.05μrad（≈0.01”）

闭环线性度：0.2%F.S.

闭环重复定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：40/8N

运动方向刚度：0.5N/μm

空载谐振频率：X450/Y400Hz

闭/开环空载阶跃时间：20/3.5ms

闭环工作频率（-3dB）：110Hz（空载）

承载能力：1 kg

工作温度范围：-20~80℃

静电容量：3.6μF/轴

材质：铝、钢

重量：510g

出线长：1.5m

责任编辑：tzh