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电子发烧友网>控制/MCU>质量流量控制器在薄膜沉积工艺中的应用

质量流量控制器在薄膜沉积工艺中的应用

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2023-04-08 11:06:17493

基于PVD 薄膜沉积工艺

。 PVD 沉积工艺半导体制造中用于为各种逻辑器件和存储器件制作超薄、超纯金属和过渡金属氮化物薄膜。最常见的 PVD 应用是铝板和焊盘金属化、钛和氮化钛衬垫层、阻挡层沉积和用于互连金属化的铜阻挡层种子沉积。 PVD 薄膜沉积工艺需要一个高真空的平台,
2023-05-26 16:36:514062

浅析芯片沉积工艺

了解芯片沉积工艺之前,先要阐述下薄膜(thin film)的概念。薄膜材料是厚度介于单原子到几毫米间的薄金属或有机物层。
2023-06-08 11:00:124175

车库CO浓度控制器—空气质量控制器是什么

关键词:车库、CO浓度控制器、空气质量控制器 车库CO浓度控制器,也叫空气质量控制器,主要用车库CO浓度探测联动控制排风系统适时启停,保障车库内空气质量,防止CO浓度过高对人体造成危害的同时
2023-08-03 10:00:074004

沉积氮化硅薄膜的重要制备工艺——PECVD镀膜

PECVD作为太阳能电池生产中的一种工艺,对其性能的提升起着关键的作用。PECVD可以将氮化硅薄膜沉积在太阳能电池片的表面,从而有效提高太阳能电池的光电转换率。但为了清晰客观的检测沉积后太阳能电池片
2023-09-27 08:35:495639

气体质量流量控制器半导体行业的应用优势

随着半导体工艺集成度的不断提高,对气体流量的误差要求也进一步提高。 质量流量控制器MFC,是一种用于对气体流量进行精确测量和控制的器件,其不但具有质量流量计的功能,更重要的是能自动控制气体流量,即用户可根据需要
2023-10-16 15:53:141133

气体质量流量控制器水厂氯气质量流量控制的应用技方案

随着社会经济的发展,国家对饮用水安全越来越重视,各自来水公司及下游自来水厂对水质有了更高的要求。消毒是水处理工艺的重要组成部分,也是保证饮用水卫生安全的最后屏障,水厂消毒处理工艺中使用的消毒工艺
2023-11-28 15:27:45692

气体质量流量控制器水厂氯气质量流量控制的应用方案

随着社会经济的发展,国家对饮用水安全越来越重视,各自来水公司及下游自来水厂对水质有了更高的要求。消毒是水处理工艺的重要组成部分,也是保证饮用水卫生安全的最后屏障,水厂消毒处理工艺中使用的消毒工艺
2023-12-01 10:51:29617

一文详解金属薄膜沉积工艺及金属化

金属栅极的沉积方法主要由HKMG的整合工艺决定。为了获得稳定均匀的有效功函数,两种工艺都对薄膜厚度的均匀性要求较高。另外,先栅极的工艺对金属薄膜没有台阶覆盖性的要求,但是后栅极工艺因为需要重新填充原来多晶硅栅极的地方,因此对薄膜的台阶覆盖 性及其均匀度要求较高。
2023-12-11 09:25:315019

化学气相沉积与物理气相沉积的差异

太阳能电池的薄膜沉积工艺,具有化学气相沉积(CVD)与物理气相沉积(PVD)两种薄膜沉积方法,电池厂商沉积工艺也需要根据太阳能电池的具体问题进行针对性选择,并在完成薄膜沉积工艺后通过
2023-12-26 08:33:011716

薄膜电容的工艺与结构介绍

。 一、薄膜电容的工艺 薄膜电容的制造工艺主要包括金属薄膜沉积、光刻、腐蚀等步骤。 金属薄膜沉积:金属薄膜沉积薄膜电容制备过程的关键步骤,它直接影响到电容的性能。金属薄膜沉积方法有蒸发镀膜、磁控溅射等。蒸发
2024-01-10 15:41:544169

流量控制器半导体加工工艺化学气相沉积(CVD)的应用

薄膜沉积半导体的主要衬底材料上镀一层膜。这层膜可以有各种各样的材料,比如绝缘化合物二氧化硅,半导体多晶硅、金属铜等。用来镀膜的这个设备就叫薄膜沉积设备。薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类
2024-03-28 14:22:411187

气体质量流量控制器半导体行业应用广泛

。气体质量流量控制器半导体行业主要应用于气体供应和控制、清洗和干燥、气体混合和纯化以及气体泄漏检测和防护等方面,为半导体制造过程提供了精确的气体流量测量、控制和监测。 一、清洗干燥 半导体制造工艺,需要对
2024-05-22 13:56:153928

流量控制器风力发电场的风速调节与发电效率优化技术研究

风力发电场流量控制器是一种关键的技术,用于优化风机的运行,提高发电效率。流量控制器通过调节风机叶片的角度或者其他参数,使得风机能够不同风速条件下保持最佳的运行状态,从而提高发电效率和风
2024-08-01 15:32:39506

气体质量流量控制器

     ‌ 气体质量流量控制器 (MFC)的由来 ‌主要源于工业过程对气体流量精确控制和测量的需求。随着工业技术的发展,特别是石油化工、冶金、制药等行业,对气体流量的精确控制变得尤为重要。这些
2024-09-24 10:36:54669

质量流量控制器在生物发酵行业的应用

气体质量流量控制器工业应用广泛,尤其对气体流量要求高的行业至关重要。爱拓利MFC300 MFC330系列能精确调节生物发酵过程的气体,提升生产效率和产品质量,广泛应用于生物发酵行业。 气体质量
2024-10-08 15:39:57341

一文详解半导体薄膜沉积工艺

半导体薄膜沉积工艺是现代微电子技术的重要组成部分。这些薄膜可以是金属、绝缘体或半导体材料,它们芯片的各个层次中发挥着不同的作用,如导电、绝缘、保护等。薄膜质量直接影响到芯片的性能、可靠性和成本。
2024-10-31 15:57:451791

气体质量流量控制器MFC4000系列在生物发酵行业的应用

在生物发酵行业,气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)作为关键设备,发挥着不可替代的作用。这一高精度的流量测量与控制装置,确保了生物反应内气体环境的精确调控,为
2024-11-27 09:25:08444

智能流量控制器产品说明书

减少水资源浪费。 FS0021 系列智能流量控制器可设置手动或自动工作模式。自动模式下通过读取超声波 流量计的流量数据获取当前管道流量值,根据流量计的流量值对可连
2025-02-27 13:55:000

气体质量流量控制器MFC4000氢燃料电池中的应用

通过外部的负载到达阴极。在这个过程,精确测量和控制氢气与氧气的流量很重要,因为这直接影响到反应速率和产生的电能。气体质量流量控制器(MFC)能够根据要求,精准地将氢气以特定的流量输送到燃料电池的阳极,并将氧气或
2025-03-19 15:14:46121

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