上海新阳再次转换战场 选择研发3D NAND用的KrF 光刻胶

合作不一定会共赢，还可能“闹掰”。

2018年，南大光电和上海新阳先后宣布，投入ArF光刻胶产品的开发与产业化，立志打破集成电路制造最为关键的基础材料之一——高档光刻胶材料几乎完全依赖于进口的局面，填补国内高端光刻胶材料产品的空白。

显然，南大光电和上海新阳初入光刻胶领域，无法以一己之力打破技术壁垒。于是，南大光电选择与北京科华合作，上海新阳与邓海博士技术团队合作，力求共赢。

入股三年，共赢成了“双输”

彼时，南大光电是国内领先的半导体用光刻胶供应商北京科华的二股东。2015年9月，南大光电入股北京科华并对外宣称，双方将共同开展193nm光刻胶的研究与产品开发。

不过，双方的合作迟迟没有进展，直到2018年12月，南大光电宣布使用部分超募资金投资“ArF光刻胶产品的开发与产业化”项目。项目风风火火地进行，南大光电组建了自身的技术团队，并没有北京科华的身影。

据知情人士称，南大光电收购北京科华后一直存在后续有效管理问题，根本无法控制北京科华。

2019年1月，南大光电对外宣布转让北京科华全部股权。入股三年，南大光电获得了不错的投资收益，但双方并未能合力发展193nm光刻胶。

2015至2019年，国内面板产业和集成电路产业获得到了飞速发展，但南大光电、北京科华在光刻胶方面却显得有些停滞不前，双方在其中付出的时间成本，对本身都是一种伤害。

上海新阳光刻胶技术从何而来？

无独有偶，上海新阳在发力光刻胶之路也屡屡受挫。

早在2017年8月，上海新阳就曾宣布以自有资金在韩国设立全资子公司，企图通过韩国子公司组织技术团队开展黑色光刻胶产品的研发和测试，待产品成熟后转移至上海生产。

项目开展前往往是雄心壮志的，上海新阳决心为中国半导体产业的长远发展做出贡献，而项目结束也令人猝不及防。

半年之后，上海新阳就终止了对外投资设立韩国全资子公司。上海新阳表示，受多种因素影响，公司现阶段无法完成在韩国设立子公司的注册工作，公司未来考虑采取其它方式进行平板显示产业用的黑色光刻胶产品的研发及生产。

通过在韩国设立子公司组织技术团队的路已然是走不通了，但上海新阳却更加“坚定”的朝着光刻胶的道路走。

2018年3月，上海新阳宣布与邓海博士技术团队共同投资设立子公司开展 193nm（ArF）干法光刻胶研发及产业化项目。子公司原定注册资本为 1亿元人民币，上海新阳出资 8000 万元人民币，占目标公司股权的 80%；邓海博士技术团队出资 2000 万元人民币，占目标公司股权的 20%。

2018年5月，上海芯刻微材料技术有限责任公司（以下简称“芯刻微”）正式设立。不过，邓海博士技术团队并未实际出资，故此，上海新阳在2018年报中写道，其对芯刻微的认缴比例80%，出资比例为100%，对芯刻微的直接持股比例为100%。

早有知情人士透露，上海新阳与邓海博士技术团队在2018年底就出现了矛盾，2019年初已经彻底“闹掰”了。

果然，2019年5月10日，上海新阳发布公告称，经公司与合作方充分沟通并达成一致，公司拟以 0 元受让合作方持有的上海芯刻微公司20%股权，并解除双方签订的《193光刻胶项目合作开发协议》及基于“开发协议”达成的一切合作。

值得注意的是，邓海先生为上海新阳193nm光刻胶项目的负责人，负责光刻胶产品的研发及生产。此外，本次项目的技术服务和配套原料服务也是由邓海博士控制下珠海雅天提供的。也就是说，邓海博士技术团队是上海新阳193nm光刻胶产品的技术来源。

不知为何，上海新阳并未对外宣布新的技术来源和负责人。目前，上海新阳193nm光刻胶产品处于实验室研发阶段，在此情况下，该项目显得有些“岌岌可危”。

据知情人士透露，上海新阳已经再次转换战场，选择研发3D NAND用的KrF 光刻胶。

从黑色光刻胶到ArF光刻胶再到3D NAND用的KrF 光刻胶，上海新阳在光刻胶的门前来来去去，走走停停。光刻胶本就是一个技术壁垒非常高的产品，而上海新阳并不是第一个宣称要向高端光刻胶进军的厂商，一再转换赛道使其发展进程更为落后，留给上海新阳的时间，或许不多了。