中微半导体已于11日向上海监管局提交IPO辅导备案

记者获悉，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微半导体”）已于11日向上海监管局提交IPO辅导备案，公司拟向上交所申报，辅导机构为海通证券、长江证券。

辅导备案情况报告公示，中微半导体成立于2004年5月，法定代表人尹志尧。截至申请提交日，公司无实际控制人，持股5%以上股东包括上海创投、巽鑫投资、南昌智微、置都投资、中微亚洲。

中微半导体主要从事半导体设备的制造、销售业务，公司在等离子刻蚀机、MOCVD（金属有机化合物化学气相沉淀）等方面打破了国外的垄断，并进入到5nm工艺设备研发。

中微半导体由尹志尧与杜志游、倪图强、麦仕义等40多位半导体设备专家创办，主要深耕集成刻蚀机领域，曾研制出中国大陆第一台电介质刻蚀机，目前也是我国最领先的半导体设备生产制造商。

2018年12月，中微半导体自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证，性能优良，将用于全球首条5纳米制程生产线。

5纳米相当于头发丝直径的二万分之一，是集成电路制程工艺最小线宽。台积电宣布2019年将进行5纳米制程试产、预计2020年量产。

刻蚀机是芯片制造的关键设备之一，曾一度是发达国家的出口管制产品。

中微半导体联合创始人倪图强表示，中微与泛林、应用材料、东京电子、日立4家美日企业，组成了国际第一梯队，为7纳米芯片生产线供应刻蚀机，如今通过台积电验证的5纳米刻蚀机，预计能获得比7纳米更大的市场份额。

中微半导体的介质刻蚀设备、硅通孔刻蚀设备、MOCVD设备等均已成功进入国内外重要客户供应体系。截至2017年底，已有620多个中微半导体生产的刻蚀反应台运行在海内外39条先进生产线上。

根据国际半导体产业协会数据，预计2019年中国大陆将成为全球最大半导体设备市场，包括中微半导体、北方华创在内的国产设备厂商有望进一步提高设备渗透率。