Zynalog ZGAD65/125/250系列双通道14位ADC用于射频电源，毫秒级闭环控制

在半导体刻蚀、PECVD、离子注入等工艺中，射频电源的功率稳定性直接决定工艺良率。传统方案采用单通道ADC轮询采样前向/反射功率，通道切换引入的微秒级时序差，导致功率反射系数计算失真，闭环控制始终"慢半拍"——这正是工艺良率波动的隐形杀手。

Zynalog ZGAD系列双通道14位高速ADC，以真双核同步采样架构彻底消除时序偏差，两通道采样时刻偏差<100ps，为射频电源控制电路提供零时差功率回采，助力实现毫秒级精准闭环控制。

图1. 射频电源信号回采电路框图

如图1所示，该系列部署于放大器输出端，双通道同步捕获前向与反射信号，为FPGA提供实时决策依据。65/125/250MSPS三档采样率覆盖全频段，ENOB>11位与90dBc SFDR确保功率检测精度。

表1.射频电源ADC选型核心指标vs. Zynalog ADC指标

表1对比显示，双通道真同步架构完美契合前向/反射功率同步采样刚需，ZGAD125D14/ZGAD250D14更以LVDS差分输出增强高速传输可靠性。

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