微流控芯片的封合工艺有哪些

微流控芯片封合工艺旨在将芯片的不同部分牢固结合，确保芯片内部流体通道的密封性和稳定性，以实现微流控芯片在医学诊断、环境监测等领域的应用。以下为你介绍几种常见的微流控芯片封合工艺：
高温封装法
原理及操作流程：以PDMS基片微流控芯片为例，先制备带有微通道的PDMS基片，将其与盖片对准贴合，然后把对准贴合的二者置于160 - 200℃温度下保温一段时间。这种方法利用高温使材料发生一定的物理变化来实现封装。推荐设备：汶颢真空热压键合机
优势：封装过程相对容易，封装强度大，并且通过精确的温度控制，不会使PDMS表面变性，从而保证芯片性能不受影响。
等离子体键合工艺
以基于PDMS - PMMA材料的微流控芯片为例，采用等离子体键合工艺主要为提高聚二甲基硅氧烷（PDMS）盖片和聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）基片复合式微流控芯片键合的稳定性。研究人员在PDMS与PMMA上通过等离子体处理和化学修饰的办法，从而引入基团进行一些列的化学反应实现了PDMS和PMMA的成功键合，通过氧气等离子体火花增强PMMA与PDMS表面的亲水性，随后加入四乙氧化硅TEOS溶液，在PMMA表面行程二氧化硅层，从而实现PMMA与PDMS的不可逆键合。推荐设备：手持式等离子清洗机
利用红外光谱和扫描电镜对处理前后的PMMA进行表征，确定硅烷化等离子方法的可行性；同时测量PDMS、PMMA和硅烷化PMMA不同等离子处理时间的接触角及接触角恢复情况，采用正交试验法得到最大键合力所需的最佳等离子处理时间以及有效操作时域，为确定微流控芯片的等离子体键合工艺参数提供借鉴。

审核编辑 黄宇