解开半导体晶圆厂高架地板的面纱-江苏泊苏系统集成有限公司

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晶圆厂高架地板，又称为活动地板或防静电地板，是一种特殊设计的地板系统，主要用于高科技制造环境，如半导体晶圆厂。高架地板也叫做耗散型静电地板，高架地板主要是以可调支架、横梁、面板等组合拼装而成的。高架地板的材料通常具有防静电特性，以保护敏感的半导体制造设备和微电子元件。晶圆厂的高架地板一般由聚氯乙烯（PVC）材料制成，并添加了防静电剂。它们具有良好的防静电性能、耐磨性和耐腐蚀性，适用于需要高度洁净的生产环境。

高驾地板概述？

高架地板又叫做耗散型静电地板。当它接地或连接到任何较低电位点时，使电荷能够耗散，以电阻在10的5次方到10的9次方欧姆之间为特征。

由于种种原因而产生的静电，是发生最频繁，最难消除的危害之一。静电不仅会对计算机运行出现随机故障，误动作或运算错误，而且还会导致某些元器件，如CMOS、MOS电路，双级性电路等的击穿和毁坏。此外静电对计算机的外部设备也有明显的影响。带阴极射线管的显示设备，当受到静电干扰时，会引起图像紊乱，模糊不请。静电还将造成Modem、网卡、Fax等工作失常，打印机的走线不顺等故障。

此外，静电通过人体对精密设备放电时(即所谓的打火)当能量达到一定程度，也会给人以触电的感觉。

高架电地板一般根据基材和贴面材料不同来划分。基材有钢基、铝基、复合基、刨花板基（木基）、硫酸钙基等。贴面材料有防静电瓷砖、三聚氰胺（HPL）、PVC等。另外还有防静电塑料地板、防静电网络地板等。高架地板主要是以可调支架、横梁、面板等组合拼装而成的。支架、横梁、面板的技术性能应符合设计要求和国家现行规范规定。

架空防静电地板是用支架、横梁、面板组装。水平地板和面板之间就有一定的悬空空间。就可以用来下走线及送风等在半导体厂是相当实用的。由于其良好的综合性能、因此在市场上也非常受到欢迎。

高架地板的作用？电缆和管线管理：高架地板为晶圆厂内的电缆和管线提供了方便的管理方式。电缆、冷却管线、气体管道和其他设施都可以方便地安置在地板下，这样有助于维持生产区域的整洁和安全。

防静电：晶圆厂中的静电可能会对微电子设备造成损害。高架地板的表面通常由防静电材料制成，有助于消除静电，保护敏感设备免受损害。空气流通和空气质量控制：晶圆厂需要维持极高的空气质量，以防止微小颗粒对产品造成污染。高架地板有助于空气在室内自由流动，并能与洁净室的空气过滤系统配合，有效地去除颗粒污染。振动控制：微电子制造过程对振动非常敏感，微小的振动都可能导致产品缺陷。高架地板可以帮助分散和吸收振动，提供稳定的生产环境。高架地板的结构？
穿孔面板：地板板块的大小和形状可以根据实际需求进行定制。晶圆厂穿孔面板是一种特殊类型的高架地板板块，它在地板表面上设计有一定数量的小孔。穿孔面板为关键应用提供卓越的冷却和通风。特别是在需要精确控制空气质量和环境条件的洁净室中十分需要穿孔面板。

支撑柱：这是一个垂直的、可调节的柱子，支撑上面提到的地板面板。面板用螺丝固定在每个角的钢柱上（每个面板 4 个柱子）。如果需要，柱子通常使用环氧树脂基粘合剂和机械固定件粘合到底层地板上。支撑柱是高架地板的基础，通常由金属制成，如钢或铝。它们将地板板块支撑在一定高度，形成一个空间，用于容纳电缆、管线等设施。立柱的高度取决于架空地板下要存放的电缆和其他服务的体积；典型高度介于 610 毫米和 1219 毫米之间。为了满足低矮系统的工业需求，有些芯片厂已尝试将活动地板的高度降低到 4 英寸（100毫米）。

横梁：横梁连接支撑柱，增强地板的稳定性和承重能力。它们以一定的间距穿过地板，形成一个稳定的框架结构。

防静电接地系统：为了确保防静电地板的有效性，需要将其连接到一个接地系统。接地系统可以将地板上产生的静电有效地排放到地面，防止静电对敏感设备和元器件造成损害。其他可选择安装的部件：当地板升高到足以让人爬行甚至步行穿过时，通常需要额外的结构支撑、照明、灭火系统和电缆桥架系统等。

高价地板的性能特点？

1、全钢组成，机械强度高、承载能力强、耐冲击性能好；

2、表面静电喷塑，柔光、耐磨、防水、防火、防尘、防腐蚀；

3、粘贴的装饰高压层板，耐磨性及防静电性能优良、抗污染、便于清洗、装饰性强；

4、尺寸精度高、互换性好、组装灵活、维修方便、使用寿命长；

5、地板可任意切割，安装附件方便；

6、四边固定，安装方便；

7、下部空间可作为空调通风用，也可配合通风板调节底层通风量；

8、对超重设备而言，只要在地板下增加支架，即能解决承载问题；

9、拆装方便，只要更换装饰贴面，就能重复使用；

10、安装地插座时可根据地插座的规格进行开孔。适用范围：全钢地板适用在载重要求和防静电要求较高的场合。

高架地板的技术指标？

电性能： 系统电阻10的6次方— 10的9次方欧姆静电起电电压 < 50伏

半衰时间 < 0.5

机械性能：均布载荷kg > 1600

极限集中载荷kg> 1000

挠度mm < 2

耐老化性：使用寿命60年以上

标准地板：600×600×30mm

防火性能：国家A级防火材料

耐磨性：0.1g/1000转

高架地板的环境要求？

温度10-30℃、相对湿度RH30-70%、

温度变化率ΔT≤15℃/小时

震动：无经常的震动（源）

化学环境：无高腐蚀挥发物质

高架地板的施工工艺？

1 把要安装高架地板的场地地面清理干净，要求地面平整干燥。应是已经做好水泥沙浆找平的地面，高低差用2米水平尺测量小于4毫米

2、 在清洁好的地面弹线定位，目的确定好每个支架位置。

3 在定点位置安装支架，安装边框并且调整好整个支架的高度。

4 支架横梁装配，同时调整横梁水平，建议用激光水平仪，然后拧紧螺钉，固定好横梁。

5 安装活动地板，同时对活动地板修边。

6 在地板安装完后进行踢脚线安装，保护及美化墙边。

7、 施工完毕后清理地板表面。

高架地板的维护？

为了确保地板的性能和耐用性，需要定期进行维护和检查。定期清洁地板表面，以去除灰尘、污渍和其他杂质。使用适当的清洁剂和设备，如微纤维拖把或防静电扫帚，以防止对地板造成损坏。避免使用过量的水或强烈的化学清洁剂，因为它们可能损坏地板材料或导致防静电性能降低。

遵守地板制造商指定的承重能力，避免在地板上放置过重的设备或物品。超载可能导致地板变形、损坏或失效。定期检查防静电接地系统，确保其有效性和稳定性。使用专业的测试仪器检查地板的防静电性能，并确保接地系统连接正常，以防止静电对敏感设备和元器件造成损害。

如果需要对地板下的设施进行维修或更改，则需要特殊工具和有经验的工人进行操作。一般用地板拉动器、吸力起重器等连接到单独的面板上，然后用力提起即可。