中国首条12英寸先进智能传感器晶圆制造量产线项目通过竣工验收

3月12日消息，近日，中建四局承建的广州增芯12英寸先进智能传感器晶圆制造量产线项目顺利通过竣工验收。 项目位于广东省广州市增城区，总建筑面积约20万平方米，建设内容包括生产厂房、综合动力站、硅烷站、甲类仓库、危废库、大宗气体站、生产调度楼等。作为全国首条12英寸智能传感器晶圆制造产线项目，建成后将具备年产24万片12英寸晶圆的生产能力，投用后生产的产品为力学、声学、微流控、生物等传感器件及配套ASIC芯片，将逐步形成产业聚集效应，为国内智能传感器及相关产业提供高质量发展支撑，助力“广东强芯”工程建设。

增芯项目由广州智能传感器产业集团发起，于2021年4月成立，定位为国内第一家专业定制化12英寸传感器晶圆厂，针对智能化、微型化等物联网应用领域中的核心器件（如力学、声学、微流控、生物等传感器件及配套ASIC芯片等），打造集研发、量产制造、封测与应用一体的先进制造平台，产品包括三大类工艺产品MEMS、BCD及逻辑工艺，对广州市及广东省的集成电路产业发展具有重要意义。

据官网介绍，增芯科技按照“一次规划、分步实施”原则，计划用5年时间投资370亿元，在广州市增城区建设两座智能化晶圆厂，总产能达到12万片/月。

其中，增芯项目第一座晶圆厂（FAB1）分两期，第一期产能2万片/月，总投资70亿元；第二期产能4万片/月，总投资100亿元；第二座晶圆厂（FAB2）为第三期，产能6万片/月，总投资200亿元。第一座晶圆厂预计2026年满产，第二座晶圆厂预计2027年满产。

相关产线介绍参看《中国首条12英寸MEMS量产线今天投产！5年370亿两座晶圆厂12万片/月！》

审核编辑 黄宇