浙江6英寸MEMS传感器研发项目首台套设备进场，计划今年底投产！

据2月2日衢州智造新城官方公众号披露，1月31日，浙江岚芯半导体科技有限责任公司6英寸高性能传感器及智能系统生产线研发项目首台套设备搬入仪式在智造新城举行，这标志着浙江岚芯特色工艺晶圆制造基地及总部项目正式进入实质性建设新阶段。

岚芯半导体是浙江芯晟半导体科技有限责任公司的全资子公司，作为去年智造新城在集成电路领域新引进的百亿级项目，本次搬入的首台套设备属于6英寸MEMS研发项目范畴。该项目将聚焦MEMS核心技术攻关，重点开展MEMS陀螺仪、微振镜、压力计等核心器件的工艺平台搭建，打破国外技术垄断，填补国内6英寸高端MEMS产品领域空白。研发项目预计在2026年底实现投产，产品可广泛应用于汽车电子、航空航天、人形机器人等多个战略性新兴产业领域。

“当前，MEMS产业正处于爆发式增长期。”智造新城相关负责人表示，该项目落地不仅填补了我市MEMS晶圆厂的行业空白，更能与金瑞泓、奥首、中巨芯等企业形成良性互动，与先导传感器项目共同构建百亿级半导体项目的集聚效应。

据了解，岚芯项目由西安龙鼎投资管理有限公司引入衢州。“希望将岚芯项目打造成标杆项目，让传感器产业在这里生根发芽、茁壮成长，使衢州成为国内重要的传感器生产基地。”西安龙鼎投资管理有限公司董事长吴叶楠说，同时希望带动更多产业链上下游企业入驻衢州，形成产业集群效应，为衢州产业链升级贡献力量。

“从项目立项到首台设备顺利搬入，我们仅用了短短3个月时间，这离不开智造新城高效的服务保障。”浙江岚芯半导体科技有限责任公司总经理吴晓明说，公司将加快推进各阶段建设任务，确保项目早投产、早见效，力争成长为MEMS领域头部企业。

审核编辑 黄宇