50.6亿发力！全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线9月量产在即

在科技飞速发展的当下，集成电路产业的每一次突破都备受瞩目。近日，一则振奋人心的消息传来：总投资 50.6 亿的全国首条8英寸MEMS 晶圆全自动生产线建设取得重大进展，预计于今年 9 月实现量产。这一项目的推进，不仅将为我国半导体产业注入新的活力，也将在诸多领域产生深远影响。

该生产线由安徽华鑫微纳集成电路有限公司投资建设，坐落于中国（蚌埠）传感谷。项目自启动以来，便吸引了业界的广泛关注。其总占地面积约 154 亩，总建筑面积达 8.7 万平方米，规模宏大。生产线建成后，预计月产能可达 3 万片，这一产能规模有望使其成为国内 MEMS 晶圆产出最大的生产线之一，同时也是我国第一条 8 英寸压电 MEMS 量产线。

目前，项目已经完成了全部设备的搬入和测试工作，正处于主要产品的工艺串线阶段，预计 6 月底完成这一关键环节。据了解，该生产线集成了多项先进技术，具备高度的自动化和智能化水平。例如，其部署的智慧能源、数字孪生、智能仓储等系统，配合国内首条全自动天车系统，实现了超 90% 的自动化率和近无人化生产，大大提高了生产效率和产品质量。

从技术层面来看，这条生产线聚焦于 MEMS 晶圆代工领域，致力于打造一个具有技术前瞻性与市场适配性的柔性化制造平台。它集成了硅基 MEMS、压电 MEMS、CMOS-MEMS 单片集成及 2.5D/3D 微系统集成等先进技术，形成了研产协同的完整体系。这种技术上的先进性和全面性，使得生产线能够生产出多种类型的传感器芯片，产品覆盖惯性传感器、压力传感器、光 MEMS 执行器、环境传感器、喷墨打印头等多元领域，满足不同行业的多样化需求。

在市场应用方面，该生产线生产的传感器芯片具有广泛的用途，涉及工业、农业、医疗、车载电子以及航天航空等多个重要领域。在工业领域，传感器芯片可用于智能工厂的设备监测与自动化控制，提高生产效率和产品质量；在农业中，可实现精准农业，通过对土壤、气候等环境因素的监测，优化农作物的种植和灌溉；医疗领域，可应用于医疗器械，实现更精准的疾病诊断和治疗；车载电子方面，为自动驾驶、智能网联汽车的发展提供关键技术支持；航天航空领域，传感器芯片对于飞行器的导航、姿态控制等起着不可或缺的作用。可以说，随着该生产线的量产，将有力推动这些行业的智能化升级，促进相关产业的快速发展。

从产业发展的角度来看，这条8英寸MEMS晶圆全自动生产线的建设和即将量产，具有多重积极意义。一方面，它将推动我国智能传感器产业集群向规模化、高端化发展。作为智能传感器核心部件 ——MEMS 芯片的重要生产基地，蚌埠将逐步成为国内 MEMS 芯片制造的重要枢纽，吸引更多上下游企业集聚，完善产业链布局，提升我国在全球智能传感器产业中的地位。另一方面，通过实现 MEMS 芯片的国产化生产，将有效保障产业链供应链的安全。以往，我国在部分高端 MEMS 芯片领域依赖进口，在国际形势复杂多变的背景下，供应链安全面临挑战。而该生产线的投产，将大幅降低国内传感器企业对进口芯片的依赖，提高本土产业链的自主性和抗风险能力，同时也有助于降低国内传感器企业的生产成本，提升产品的市场竞争力。

据中国传感器与物联网产业联盟常务副理事长郭源生透露，目前企业已累计与 50 家客户达成合作意向，意向订单总计约 21 万片，另有 3 万余片晶圆合同正在洽谈中，这为生产线今年 9 月投产后的产能释放提供了有力支撑，也显示出市场对于该生产线产品的强烈需求。

全国首条 8 英寸 MEMS 晶圆全自动生产线的即将量产，是我国集成电路产业发展的一个重要里程碑。它标志着我国在 MEMS 晶圆制造技术领域取得了重大突破，将在推动产业升级、保障供应链安全、促进经济发展等方面发挥重要作用。我们有理由期待，随着这条生产线的稳定运行，将为我国智能传感器产业及相关领域带来更多的创新与发展机遇，助力我国在全球科技竞争中占据更有利的地位。

来源：半导体芯科技

审核编辑 黄宇