为什么采用多晶硅作为栅极材料

本文解释了为什么采用多晶硅作为栅极材料

栅极材料的变化

如上图，gate就是栅极，栅极由最开始的铝栅，到多晶硅栅，再到HKMG工艺中的金属栅极。 栅极的作用 栅极的主要作用是控制晶体管中的沟道的电流。栅极电压的变化使得晶体管在导通和关闭状态之间切换。 多晶硅栅的优势 1. 多晶硅耐高温。在源漏离子注入后，需要高温退火。而铝栅的熔点在六百多摄氏度。而高温退火过程中，多晶硅栅能够保持较好的稳定性，不易受到影响。 2. 可以作为离子注入的遮蔽层，实现多晶硅栅与源漏的自对准，这样就不会出现栅极和源漏套刻不对齐的问题。

3.可以通过掺杂来提高阈值电压。多晶硅栅通过控制其掺杂物的种类和浓度，能够调节工作函数，从而精确控制阈值电压。