P60.X200系列高精度一维压电纳米定位台应用于光学测量

光学测量是利用光的性质如光的传播、反射、折射、干涉、衍射等，进行长度、形状、角度、颜色等精确测量的非接触式测量技术，在工业、医疗、航空航天等领域获得广泛的应用。随着技术的不断进步与革新，光学测量技术在向更高精度、更高效的方向发展，芯明天纳米定位台以其高精度和快速的响应速度特点，在光学测量技术中提供纳米级精密定位，可使测量结果更精确。

注：图片来源于网络

P60.X200系列高精度一维压电纳米定位台

P60.X200系列压电纳米定位台采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，可产生一维X轴直线运动，位移可达200μm，分辨率可达2nm，承载可达1.3kg，开环状态下，空载阶跃时间可达30ms，可配置闭环传感实现高精度扫描与定位。P60.X200系列压电纳米定位台为一维X向运动平台，可以通过叠加转接的方式实现二维、三维运动。产品外观如下所示。

产品特点

一维X向运动，行程可达200μm

承载可达1.3kg

分辨率可达2nm

开/闭环可选，真空版本可选

可组多维使用

产品应用

光学测量

光学检测

显微扫描

激光干涉

生物科技

技术参数

型号	P60.X200S/K
运动自由度	X
驱动控制	1路驱动，1路传感/1路驱动
标称行程范围（0~120V）	160μm
行程范围（0~150V）	200μm
传感器类型	SGS/-
闭/开环分辨率	7nm/2nm
闭环线性度	0.02%F.S./-
闭环重复定位精度	0.01%F.S./-
俯仰/偏航/滚动	＜15μrad
闭/开环空载阶跃时间	50ms@20μm、1300g/30ms
空载谐振频率	370Hz
带载谐振频率@1300g	120Hz
静电容量	10.8μF
工作温度范围	-20~80℃
承载能力	1300g
材料	不锈钢、铝合金
重量	630g

配套控制器

E53.D系列压电控制器非常适用于驱动P60.X200系列压电纳米定位台。E53.D系列是针对小体积应用要求而设计的单通道控制器，体积小巧，外形尺寸仅为148×27.5×80mm^3，重量为350g，供电电压24VDC/1A。机身带有散热区域，可迅速导出产生的热量，上位机软件支持二次开发，体积小巧，易于集成。

审核编辑 黄宇