量程翻倍！芯明天2mm量程电容测微仪C2D18，精准丈量微纳世界

电容测微仪是一种基于电容传感原理的高精度测量仪器，主要用于微小位移、厚度、间隙、振动等物理量的非接触式检测，广泛应用于精密制造、半导体、光学技术、航空航天等对测量精度要求高的领域，是压电纳米定位、微纳加工设备等的关键配套测量部件。芯明天新品C2D18电容测微仪，具备2mm大行程测量能力，在量程实现突破的同时，始终坚守纳米级测量精度，完美兼顾宽量程与高精度核心需求。

一、新品推荐：2mm量程电容测微仪C2D18

电容测微仪通过将被测物理量，如微小位移的变化转化为电容值的变化，再经信号处理电路将电容变化转换为可读取的电信号，从而实现对微小量的精确测量。其测量分辨率可达到纳米级，是微纳尺度测量中的核心工具之一。

在现有电容测微仪产品线基础上，我们新增2mm量程电容测微仪C2D18，进一步完善了从100μm到2mm的全量程覆盖。该产品旨在为高端精密加工、压电定位系统配套、工业检测及科研实验等多场景，提供范围更广的纳米级感知能力，为大行程微小量测量提供更全面的方案，同时让整体测量方案的灵活性与适配性更趋完善。

新品三大核心优势：

1.量程突破，覆盖更广场景：2mm超大量程较原有的1mm大量程产品实现翻倍拓展，无需频繁更换设备，即可满足从微米级到毫米级的多尺度测量需求，适配更广泛的精密检测场景。

2.精度坚守，延续纳米级性能：分辨率与重复性保持纳米级水准，通过优化设计有效抵消温度漂移、电磁干扰等环境影响，确保测量稳定性；即使在2mm全量程范围内，线性度依然维持纳米级精度。

3.适配压电定位全场景：可与芯明天压电纳米定位台、控制器兼容，形成“定位-测量-闭环修正”一体化解决方案，生态协同性强；响应时间快，能完美匹配动态闭环控制需求。

二、电容测微仪的应用领域

电容测微仪凭借纳米级精度、非接触测量、快速响应和高稳定性等独特优势，已成为现代精密测量领域的核心工具，广泛应用于对精度要求极高的多个行业：

1.半导体与微电子产业

晶圆加工全流程监控：晶圆厚度与翘曲度测量、表面缺陷分析、掩膜版定位、晶圆台多轴位移反馈；

芯片封装与测试：封装层间对准、芯片键合压力与间隙控制等。

2.精密光学技术

光学元件制造：镜片曲率、平行度、中心厚度的测量，光学元件镀膜厚度控制，光学棱镜角度校准，OLED面板厚度均匀性检测，玻璃基板翘曲度测量等。

3.精密制造领域

超精密加工与监测：机床主轴回转精度检测、精密导轨直线度测量、模具的磨损度监测、微纳结构位移、形变与振动检测等。

（注：图片来源于网络）

4.航空航天领域

飞行器制造：机身尺寸的精密测量、复合材料层间间隙检测、核心部件如航空发动机叶片振动分析、航天器太阳能帆板展开状态监测等。

5.汽车与能源装备

汽车制造质量控制：刹车盘厚度变化检测、发动机缸体平面度测量；

新能源设备制造：锂电池极片厚度测量，燃料电池膜电极组件厚度检测，风电叶片形变监测等。

6.科研与通用测量

设备配套：可作为扫描探针显微镜、共聚焦显微镜等设备的样品台位置监测传感器，扩展设备纵向测量量程；

材料与环境测试：复合材料弹性模量测试、疲劳试验微小形变监测，真空、低温、强磁场等特殊环境下的位移检测与无干扰精密定位等。

（注：图片来源于网络）

芯明天电容测微仪适用于高精度定位、角度/直线振动测量、厚度检测、旋转机械间隙测量、跳动测量、自动对焦或调零、介电常数测量、天文望远镜镜片定位、外径测量、形变测量等。

三、芯明天电容测微仪核心特点

1.超高精度与分辨率

测量分辨率可达纳米级，测量精度高，能满足微纳尺度测量的严苛需求。

2.非接触式测量

测量过程中传感器与被测物体无机械接触，不会对被测表面造成划伤、磨损，也不会因接触力导致测量误差，适合脆弱工件、柔性材料或高速运动物体的测量。

3.响应速度快

电容变化的检测不受机械惯性影响，信号处理电路的响应时间可达微秒级，能实时捕捉动态变化如微小振动、高速位移等，可用于动态测量和闭环控制场景。

4.稳定性好，抗干扰能力强

能有效抵消温度漂移、电源波动等环境干扰；电容传感器结构稳定、无易损件，长期使用稳定性高，维护成本低。

5.测量范围灵活

CxxDxx全系列电容测微仪量程覆盖100μm~2mm，实现从微米级到毫米级的大范围测量，既能满足微纳加工的微小位移测量，也能适配精密机械的间隙检测。

6.适配多种被测材质

当被测物体具有一定的导电性且满足条件时，均可进行测量，不受材质影响，适配金属、半导体、玻璃、陶瓷等多种材料的精密检测。

四、芯明天电容测微仪全系列产品矩阵

1）传感探头

我们提供完整的电容测微仪产品线，以满足不同精度、量程和动态性能的需求。

柱形电容传感器

型号	C2D18
量程范围	2000μm
静态分辨率	20nm
动态分辨率(1kHz)	800nm
线性度	800nm
重复度	40nm
探头尺寸	φ18×18.5mm

型号	C01D10	C02D10	C05D10	C1D10
量程范围	100μm	200μm	500μm	1000μm
静态分辨率	1.25nm	2.5nm	5nm	10nm
动态分辨率(1kHz)	50nm	100nm	200nm	400nm
线性度	50nm	100nm	200nm	400nm
重复度	2.5nm	5nm	10nm	20nm
探头尺寸	φ10×18.5mm

方形电容传感器

型号	C02F13
量程范围	200μm
静态分辨率	2.5nm
动态分辨率(1kHz)	100nm
线性度	100nm
重复度	5nm
探头尺寸	13×13×4.3mm^3

2）传感控制器（信号处理）

E75系列单通道、小体积传感控制器

E75系列单通道传感控制器，采用单通道设计，结构精简紧凑，小体积特性使其能灵活适配空间受限的多种场景。可适配多种型号电容测微仪，广泛应用于单点位微小位移测量、小型压电定位系统闭环控制等场景，为单通道高精度传感需求提供高效、精准的解决方案。

E01系列模块化、多通道传感控制器

E01机箱式传感控制器适配多型号电容测微仪，具备纳米级测量分辨率，采用模块化设计理念，支持1至12通道自由选配，可根据实际需求灵活组合，适用于多场景。同时提供台式结构与板卡式插件两种形态选择，兼顾独立使用的便捷性与系统集成的兼容性。

审核编辑 黄宇