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6.4.2.3 p型SiC的欧姆接触∈《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》

深圳市致知行科技有限公司 2022-01-26 10:08 次阅读
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6.4.2.3 p型SiC的欧姆接触

6.4.2 n型和p型SiC的欧姆接触

6.4 金属化

第6章碳化硅器件工艺

《碳化硅技术基本原理——生长、表征、器件和应用》

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