10.8.4 表面硅微加工工艺∈《集成电路产业全书》
Surface-Si Micromachining Technology
审稿人：北京大学 王玮
审稿人：北京大学 张兴 蔡一茂
https://www.pku.edu.cn
10.8 集成微系统技术
第10章 集成电路基础研究与前沿技术发展
《集成电路产业全书》下册
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