SuperView W1白光干涉仪——微观形貌测量利器

近年来，在新兴技术的高速发展和强力推动下，超精密加工技术不断发展和进步。微机电系统、微光学元件等微观结构的制造与发展，对微结构表面形貌测量的高精度和高可靠性等要求日渐提高。表面形貌不仅对接触部件的机械与物理特性产生影响，而且也会影响非接触表面的特性，如光学器件的反射等等。对结构的测量是对结构加工的先决条件和质量保证，所以表面形貌的测量在材料和工程零部件的属性和功能方面起着至关重要的作用，由此对于微纳结构的测量方法精度要求越来越高，表面形貌测量技术在技术成熟方面和应用范围方面都得到了发展。

表面形貌测量广泛应用于刀具检测、精密加工、材料科学、电子工业、生物医学等相关领域，尤其是在超精密加工、微机电系统制造领域，随着超精密加工技术的发展，微结构由结构简单、形状规则的工件逐渐扩展到结构复杂、形状不规则的工件，对微结构进行高精度、高可靠性表面形貌测量越来越重要。微结构的表面三维形貌会对器件的可靠性和使用性能产生影响，同时也可反映工件加工的好坏，以改善工件质量。因此，表面测量技术对保证产品的高性能和高稳定性具有重要意义。

当前现有的微结构测量方法可以分为非光学和光学测量方法。其中光学测量方法以精度高、效率高、无损害等优点得到广泛应用。光学测量方法精度上已经达到纳米级别，我们今天介绍的就是一种简单快速、适用性广的表面形貌测量方法——白光干涉测量法。

白光干涉仪是利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。

SuperView W1白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。