【应用案例】透射电子显微镜TEM
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope，简称TEM)，可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构，就必须选择波长更短的光源，以提高显微镜的分辨率。
1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜，电子束的波长要比可见光和紫外光短得多，并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比，也就是说电压越高波长越短。TEM的分辨力可达0.2nm。
TEM是聚焦电子束投射到非常薄的样品上，透过样品的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析样品内部的微观组织结构。
TEM的成像原理
透射电子显微镜的成像原理可分为三种情况：
l 吸收像：当电子射到质量、密度大的样品时，主要的成相作用是散射作用。样品上质量厚度大的地方对电子的散射角大，通过的电子较少，像的亮度较暗。早期的透射电子显微镜都是基于这种原理。
l 衍射像：电子束被样品衍射后，样品不同位置的衍射波振幅分布对应于样品中晶体各部分不同的衍射能力，当出现晶体缺陷时，缺陷部分的衍射能力与完整区域不同，从而使衍射波的振幅分布不均匀，反映出晶体缺陷的分布。
l 相位像：当样品薄至100Å以下时，电子可以穿过样品，波的振幅变化可以忽略，成像来自于相位的变化。
TEM的应用
TEM常用于研究纳米材料的结晶情况，观察纳米粒子的形貌、分散情况及测量和评估纳米粒子的粒径。
审核编辑黄宇
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
TEM
+关注
关注
0文章
72浏览量
10307 -
透射电子显微镜
+关注
关注
0文章
8浏览量
2151
发布评论请先 登录
相关推荐
首台国产商业场发射透射电子显微镜发布
1月20日，广州慧炬科技有限公司成功举办“承鸿鹄之志，造大国电镜”新品发布会，正式发布首台国产商业场发射透射电子显微镜“太行”TH-F120。标志着我国已掌握透射电镜整机研制能力以及电子枪、高压电源
为什么电子显微镜需要真空系统？
由于电子在空气中行进的速度很慢，所以必须由真空系统保持电镜的真空度，否则，空气中的分子会阻挠电子束的发射而不能成像。用两种类型的真空泵串连起来获得电子显微镜镜筒中的真空，当电子显微镜启
SEM扫描电子显微镜涂层磨损分析
数字显微镜Smartzoom5和SEM扫描电子显微镜的解决方案。图a、b显示的是无涂层的钻头的切削刃口情况，图c、d显示的是金刚石涂层钻头的脱落情况；图a、c使用
如何理解扫描电子显微镜(SEM)中的充电效应
扫描电子显微镜（SEM）已广泛用于材料表征、计量和过程控制的研究和先进制造中，我们在对半导体材料和结构进行观测时，常常会遇到充电效应，本文讨论了与样品充电相关的一些问题以及减轻其影响的方法。
核心技术突破！国产200kV透射电子显微镜进入小批量试产
中国近年来向着科技自立自强的方向迈出了坚定的步伐，核心技术不断突破，高端仪器设备持续涌现。近日消息，由苏州博众仪器科技有限公司（简称博众仪器）自主研发的200kV透射电子显微镜BZ-F200已经进入
详解半导体行业的TEM技术
透射电子显微镜（TEM）具有卓越的空间分辨率和高灵敏度的元素分析能力，可用于先进半导体技术中亚纳米尺寸器件特征的计量和材料表征，比如评估界面细节、器件结构尺寸以及制造过程中出现的缺陷或瑕疵。
一文了解电子显微镜和光学显微镜的差异
如今，不仅有能放大几千倍的光学显微镜，也有能放大几十万倍的电子显微镜，让我们对生物体的生命活动规律有了更深入的了解。普通中学生物教学大纲中规定的实验绝大部分都是利用显微镜来完成的，因此显微镜
Sandbox混合计量图像处理工具可简化新工艺配方的实验
使用，使用机器学习（ML）算法从扫描电子显微镜（ SEM ）和透射电子显微镜（TEM）数据中提取和分析轮廓，从而减少工程师的手动测量任务。 工艺技术变得越来越复杂 现代芯片制造技术的研发成本高达数十亿美元，而且越来越复杂和昂贵：
STEM的成像原理 STEM的图像衬度来源
扫描透射电子显微镜（Scanning Transmission Electron Microscope，简称STEM），是在TEM成像技术上发展起来的一种电子显微成像技术
蔡司扫描电镜在第三代半导体领域的应用成果
扫描电子显微镜-电子通道对比成像（SEM-ECCI）是在扫描电子显微镜下直接表征晶体材料内部缺陷的技术。SEM-ECCI技术的发展已经取代了透射电子显微镜（
透射电镜TEM测试原理及过程
透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope, 简称TEM），是一种把经加速和聚集的电子束透射到非常薄的样品上，
蔡司扫描电子显微镜(sem扫描电镜)
蔡司扫描电子显微镜(sem扫描电镜)对于材料科学、电子、地质、物理、化工、农医、公安、食品和轻工等领域的科学研究，人们总是关心微观形态、晶体结构和化学组成与宏观物理或化学性质之间的关系。光学显微系统
透射电子显微镜的用途和特点
透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope, TEM）是一种用于观察样品内部结构的高分辨率显微镜。它利用电子束穿透样品并形成投影图像，然后通过对该
蔡司热场扫描电镜Sigma 300电子显微镜
蔡司热场扫描电镜Sigma300电子显微镜能够对各种材质的导电和不导电样品、不同尺寸和形状的样品表面微观结构进行高分辨观察。配置能谱和背散射电子衍射仪附件可以实现样品表面微观区域内的成分和织构分析
工商网监
评论